[实用新型]检测基片转速装置

权利要求书

1.一种检测基片转速装置，其特征是该检测基片转速装置包括：

驱动组件，用于驱动主动轮组件旋转；

主动轮组件，用于支撑基片及驱动基片旋转；

从动轮组件，用于支撑基片；以及

转速轮组件及转速测量传感器，用于测量转速轮组件旋转速度；

其中，主动轮组件与从动轮组件并行排列，支撑及驱动基片旋转，转速测量传感器安装在转速轮组件附近，转速轮组件由从动轮组件驱动。

2.如权利要求1所述的检测基片转速装置，其特征是：所述的主动轮组件主动轮直径与从动轮组件从动轮直径相等，或主动轮组件主动轮直径与从动轮组件从动轮直径以一定比例设置。

3.如权利要求1所述的检测基片转速装置，其特征是：所述的主动轮组件可由驱动组件通过传动件驱动，也可由驱动组件直接驱动。

4.如权利要求1所述的检测基片转速装置，其特征是：所述的转速轮组件可由从动轮组件通过传动件驱动，也可直接安装在从动轮组件上。

5.如权利要求1所述的检测基片转速装置，其特征是：所述的转速测量传感器可是光电传感器，也可是电磁传感器。