[实用新型]一种能自行降温的磁控溅射仓室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在太阳能电池生产设备中的能自行降温的磁控溅射仓室。

背景技术

太阳能电池生产过程中，太阳能电池在磁控溅射仓室内溅镀Al层，其中溅镀过程为：在40℃左右的磁控溅射仓室内，通过磁控溅射作用，使Al溅镀在太阳能电池片上。上述过程中磁控溅射仓室的温度大约在100℃，由于溅镀的时间较长，设备内部要一直保持该温度，而由于仓室主体为钢结构，所以长时间的高温对仓室的结构会产生一定的影响，需要通过对仓室进行改进、降温，使仓室主体结构保持稳定。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种结构简单合理、能够对磁控溅射的仓室本身进行降温的磁控溅射仓室。

本实用新型的目的是这样实现的：该仓室包括仓室主体、反光板，所述的反光板设置在仓室主体的内部。

所述的反光板分为四块分别设置在仓室主体内部的上、下、左右面上，由于仓室主体的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板。

本实用新型由于采用上述结构，即在仓室主体的内部上下左右增设了反光板，所以在设备运行的过程中，太阳能电池进入仓室后，仓室内部开始加热，由于反光板的作用，热量到反光板以后被反射，有效的控制了热量向仓室主体结构的扩散，防止了仓室主体由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。

附图说明

图1为磁控溅射仓室反光板立体示意图

图2为磁控溅射沉积仓室的正视图

具体实施方式

由附图所示：该降温装置包括仓室主体1、反光板2，所述的反光板2设置在仓室主体1的内部。

所述的反光板2分为四块分别设置在仓室主体1内部的上、下、左右面上，由于仓室主体1的前后面需要分别进出电池片，所以不设置反光板2。

在设备运行的过程中，太阳能电池由前端进入仓室主体1后，仓室内部开始加热，由于反光板2的作用，热量会通过反光板2被反射，这样就有效的控制了热量向仓室主体1结构的扩散，防止了仓室主体1由于温度过高发生形变，不会影响设备的正常运行。