[实用新型]一种能自行降温的磁控溅射仓室有效
| 申请号： | 200920094600.3 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201530854U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;刘志才;崔庆春;程明辉;强艳建;李宇;魏含芳 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L31/18;H01J37/16;H01J37/02;H01J37/34 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自行 降温 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种能自行降温的磁控溅射仓室，该降温装置包括仓室主体(1)，其特征在于：它还包括反光板(2)，所述的反光板(2)设置在仓室主体(1)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种能自行降温的磁控溅射仓室，其特征在于：所述的反光板(2)分为四块分别设置在仓室主体(1)内部的上、下、左右面上。
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