[实用新型]半导体流水线中的零度控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生长流水线中所采用的装置，尤其是一种半导体流水线中的零度控制器。

背景技术

半导体流水线中的零度控制器(ZERO CON)在工作时需要保证其腔内温度始终恒定在零度附近，一旦温度偏离零度过大，将会大大影响其制品的性能和质量。现有的半导体流水线中的零度控制器中的温度控制是依靠一个热胀冷缩的部件，当温度过高，该热胀冷缩的部件会触发零度控制器制冷装置开关，从而启动制冷，当温度过低，该热胀冷缩部件会关闭上述制冷开关，使得零度控制器停止制冷。但是，零度控制器中的这个热胀冷缩的部件有一定的寿命，一旦其发生了故障，就会导致零度控制器内温度发生偏移，这样会严重降低制品的性能和质量，并且这种情况发生之后，必须等相应的制品生产出来后才会被发现，造成大量的浪费，耽误许多时间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体流水线中的零度控制器，能够实时监控半导体流水线中的零度控制器的温度，在温度发生异常的时候及时报警，并且可靠性高，成本低廉。

为解决上述技术问题，本实用新型半导体流水线中的零度控制器的技术方案是，包括对所述零度控制器腔内温度进行采集的温度传感器，所述温度传感器信号连接到一个0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置将所述温度传感器采集的温度信息与一个预先设定的范围进行比较，如果所述温度信息超出了该设定范围，则所述0℃监测报警装置发出报警。

本实用新型通过设置温度传感器以及相应的0℃监测报警装置，能够实时监控半导体流水线中的零度控制器的温度，在温度发生异常的时候及时报警，并且可靠性高，成本低廉。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明：

图1为本实用新型半导体流水线中的零度控制器实施例的结构示意图；

图2为图1所示实施例中主控板的电路图；

图3为图1所示实施例工作过程的示意图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种半导体流水线中的零度控制器，包括对所述零度控制器腔内温度进行采集的温度传感器，所述温度传感器信号连接到一个0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置将所述温度传感器采集的温度信息与一个预先设定的范围进行比较，如果所述温度信息超出了该设定范围，则所述0℃监测报警装置发出报警。

所述0℃监测报警装置信号连接到半导体流水线中的机台，当所述温度信息超出了该设定范围，0℃监测报警装置发信号给所述机台，所述机台发出报警。

所述0℃监测报警装置还信号连接到远程监控计算机，当所述温度信息超出了该设定范围，0℃监测报警装置发信号给所述远程监控计算机，所述远程监控计算机发出报警。

所述0℃监测报警装置对温度传感器采集到的温度信息进行显示。

本实用新型的实施例可参见图1所示，零度控制器ZERO CON上设置有温度传感器，所述温度传感器连接至0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置包括温控器、主控板、控制输出部分以及声光报警部分，所述0℃监测报警装置中的控制输出部分连接到零度控制器的联锁(Interlock)上，通过零度控制器中原先已有的与机台的通信接口向机台及远程监控计算机发出报警信号。本实用新型中0℃监测报警装置中主控板的电路图如图2所示，其中No、com、Nc连接零度控制器的联锁，TC为温度传感器温度信号，该信号经过主控板电路直接连接到温控器，所述温控器对温度进行比较，之后将比较结果以开关导通或者断开的方式返回给主控板，所述主控板中ALM-T连接比较结果，主控板的ALM Lamp连接报警灯，Buzzer连接报警喇叭。该实施例的工作过程如图3所示，当zero con当前检测到的温度超出或是低于设定的温度时，温控器将比较结果以开关导通的方式返回给主控板，然后报警指示灯工作，继电器KA1线圈得电吸合，报警喇叭工作。工程师来检修时，激活复位Reset，使得KA2线圈得电吸合并自锁，KA1失电，报警器停止工作，故障处理后恢复正常状态。

综上所述，本实用新型通过设置温度传感器以及相应的0℃监测报警装置，便于工程师的日常点检，有利于提前发现问题，当机台在发生故障后，能第一时间发出报警，对机台稳定运行、起到了保护预警作用，保证制品的质量不受影响，有利于提高生产效率，减少损失，提高效益。