[实用新型]半导体流水线中的零度控制器无效
| 申请号： | 200920074248.7 | 申请日： | 2009-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN201575865U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 倪立华;许青峰;杨立华 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/02 | 分类号： | G01K1/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 流水线 中的 零度 控制器 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体流水线中的零度控制器，其特征在于，包括对所述零度控制器腔内温度进行采集的温度传感器，所述温度传感器信号连接到一个0℃监测报警装置，所述0℃监测报警装置信号连接到半导体流水线中的机台。
2.根据权利要求1所述的半导体流水线中的零度控制器，其特征在于，所述0℃监测报警装置还信号连接到远程监控计算机。
3.根据权利要求1所述的半导体流水线中的零度控制器，其特征在于，所述0℃监测报警装置对温度传感器采集到的温度信息进行显示。
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