[实用新型]检测加热圈上交流电和射频共存的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制造设备，特别是涉及一种半导体制造用设备上的检测装置。

背景技术

目前，在半导体制造过程中，往往需要在硅片上生成SiO₂薄膜。而这些用来在硅片上生成SiO₂薄膜的机台上需要设置加热器部件，在这些加热部件上交流电和射频都接在同一个回路加热线圈(side coil，特指机台上的一个回路组合件)上面。该回路加热线圈用来对机台特定部分进行加热，并且用来将射频导入到该特定部位。考虑到需要加热的位置和射频要导入的位置在机台的同一位置，且安装空间有限，故将交流加热线圈与射频导入线圈一同做在该回路加热线圈上面。

如图1所示，交流电所接加热圈与射频所接射频圈紧密固定在一起，组成所说的加热线圈。

正常情况下，交流电一直接在加热线圈上对被加热的陶瓷器件进行加热；当射频开启时，交流电从加热线圈上断开，射频导入到加热线圈上；当射频停掉的时候，交流电又重新接到加热线圈上。这样交流电和射频在加热线圈上交替出现，但不会同时出现。但是当出现控制交流电通断的器件坏掉等情况时，就会出现交流电和射频同时出现在加热线圈上的情况，时间久了加热线圈就会因过热被烧坏。

目前，通过装在射频柜里的可编程逻辑控制器(PLC)来发出直流控制信号，这个信号来控制继电器的通断，从而来实现交流电和射频交替加载到加热线圈上的功能。目前设备存在的缺陷是这套东西只控制动作，没有反馈监控。当PLC或继电器出现问题时，无法及时发现当射频加到加热线圈上时交流电仍没有从加热线圈上断开。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上的装置，能够保护加热线圈不因过热被烧坏。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置，交流检测装置，其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点，所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端，使得当接点的电压高于一特定值时，固态继电器导通，输出一电压至信号处理单元；射频检测装置，其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点，当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元；信号处理单元，连接交流检测装置和射频检测装置的输出端，对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算，检测到是否存在交流电和射频共存的的情况。

本实用新型的有益效果在于：可以有效监控是否存在交流电和射频同时出现在加热线圈上，从而保护加热线圈不因长时间过热被烧坏。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的详细说明。

图1为目前交流电和射频都接在同一个回路加热线圈的示意图；

图2为本实用新型实施例的示意图。

具体实施方式

如图2所示的本实用新型所述的实施例，当交流电和射频同时出现在加热线圈上时，机台可以发出报警。所以与报警装置相连接一个检测器，分别从加热器和射频接出一路信号作为监测器的两个输入信号，检测器的输出信号送给机台，作为机台的报警信号。