[实用新型]检测加热圈上交流电和射频共存的装置无效

专利信息
申请号: 200920073968.1 申请日: 2009-05-26
公开(公告)号: CN201408745Y 公开(公告)日: 2010-02-17
发明(设计)人: 陆斌;徐伯山;林振芳 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/66;H01L21/31
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 孙大为
地址: 201206上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 检测 加热 上交 流电 射频 共存 装置
【权利要求书】:

1.一种检测加热圈上交流电和射频共存的装置,其特征在于,包括:

交流检测装置,其输入端连接至交流电接入加热线圈的连接点,所述输入端通过变压器连接到固态继电器的输入端,使得当接点的电压高于一特定值时,固态继电器导通,输出一电压至信号处理单元;

射频检测装置,其输入端连接至加热线圈前端继电器的控制电路的连接点,当射频开启或关闭时输出一电压至信号处理单元;

信号处理单元,连接交流检测装置和射频检测装置的输出端,对所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行逻辑运算,检测到是否存在交流电和射频共存的的情况。

2.如权利要求1所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置,其特征在于,所述射频检测装置当射频开启的时候,其两端上电压为零;当射频关闭的时候,其两端上有直流电压;

所述射频检测装置将上述电压取反。

3.如权利要求1所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置,其特征在于,所述的信号处理单元将所述交流检测装置的输出电压和射频检测装置的输出电压进行“与”运算,得到电压V3。

4.如权利要求3所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置,其特征在于,所述的信号处理单元将所述电压V3取反得到电压V4。

5.如权利要求4所述的检测加热圈上交流电和射频共存的装置,其特征在于,所述的信号处理单元连接到机台保护装置,当电压V4显示有交流电和射频共存时,关闭加热线圈。

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