[实用新型]防止镜片碰撞的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防止镜片碰撞的装置，特别涉及一种光刻技术中的防止镜片碰撞的装置。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学光刻技术扮演了重要的角色。光学光刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的掩模，利用曝光原理，使光源通过掩模投影至硅晶片上，可曝光显示特定的图案。

光刻设备已经能够在晶片上形成越来越小的图形，而在光刻工艺中，为满足所需要的工艺条件，需要对照明模式进行设置。而用于设置照明模式的同轴光学镜片之间存在行程干涉，即不同镜片之间的移动区域有重叠情况。因此，如果不对镜片进行防止碰撞处理，同轴的可动透镜会发生碰撞而损毁。

实际情况为，在光刻过程中，由于需要得到各种不同的工艺条件(如获得不同的焦深)，需要设置不同的照明模式。设置照明模式是通过移动照明系统中的几片可动透镜实现的，通过对可动透镜之间的距离进行不同的设置组合，得到符合各种光刻工艺需要的不同照明模式。而可动透镜的行程之间有交叠区域，因此可动透镜会发生碰撞导致损毁。

有鉴于此，如何提供一种防止镜片碰撞的装置，来减少上述弊端已成为业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种防止镜片碰撞的装置，结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种防止镜片碰撞的装置，能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种防止镜片碰撞的装置，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域，所述防止镜片碰撞的装置包括驱动所述可移动镜片移动的驱动模块，以及安装在所述可移动镜片上的探测模块，所述探测模块探测两片可移动镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块。

在一实施例中，所述探测模块是接近式探测设备，具体的，所述接近式开关分别通过连杆固定于相应的可移动镜片上，且所述连杆的长度之和大于等于两片可移动镜片之间所允许的最小距离。

在另一实施例中，所述探测模块是非接触式探测设备，具体的，所述非接触式探测设备包括光电或磁电式感测器，以及被探测物质，分别设置于所述的两片可移动镜片上。

进一步地，所述探测模块设置于所述的两片可移动镜片相邻的表面上。

此外，所述防止镜片碰撞的装置还包括控制模块，分别连接至所述驱动模块和所述探测模块，所述控制模块根据探测模块的探测结果控制所述驱动模块。所述可移动镜片的行程范围的边界处还设有限位开关，以防止可移动镜片移动至行程范围以外。

本实用新型的防止镜片碰撞的装置，是通过安装在所述镜片上的探测模块探测镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。所采用的探测模块可以是接近式探测设备，也可以是非接触式探测设备。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。

附图说明

图1为本实用新型防止镜片碰撞的装置的一实施例示意图。

图2为本实用新型防止镜片碰撞的装置的另一实施例示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型也可通过其他不同的具体实例加以实施或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的精神下进行各种修饰与变更。

本实用新型中所述防止镜片碰撞的装置，可以应用在光刻设备的照明系统中，该照明系统至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域。