[实用新型]防止镜片碰撞的装置

权利要求书

1.一种防止镜片碰撞的装置，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域，其特征在于：包括驱动所述可移动镜片移动的驱动模块，以及安装在所述可移动镜片上的探测模块，所述探测模块探测两片可移动镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块。

2.如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块是接近式探测设备。

3.如权利要求2所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述接近式探测设备是一组分别设置于所述的两片可移动镜片上的接近式开关。

4.如权利要求3所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述接近式开关分别通过连杆固定于相应的可移动镜片上，且所述连杆的长度之和大于等于两片可移动镜片之间所允许的最小距离。

5.如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块是非接触式探测设备。

6.如权利要求5所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述非接触式探测设备包括光电或磁电式感测器，以及被探测物质，分别设置于所述的两片可移动镜片上。

7.如权利要求1至6中任一项所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块设置于所述的两片可移动镜片相邻的表面上。

8.如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，还包括控制模块，分别连接至所述驱动模块和所述探测模块，所述控制模块根据探测模块的探测结果控制所述驱动模块。

9.如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述可移动镜片的行程范围的边界处设有限位开关，以防止可移动镜片移动至行程范围以外。