[实用新型]化学机械研磨抛光头压力环安装装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨抛光头压力环安装装置，包括圆形托盘，其特征在于，所述化学机械研磨抛光头压力环安装装置还包括至少三滑块和至少三定位组件，所述圆形托盘上径向设置有至少三刻度，所述圆形托盘上沿所述刻度开有滑槽，所述滑块可移动限位在对应的所述滑槽中，所述滑块中至少设置一所述定位组件，所述定位组件部分凸出所述圆形托盘。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述定位组件包括定位件和弹性件，所述定位件可伸缩限位在所述滑块中且部分凸出所述圆形托盘，所述弹性件位于所述滑块中并分别抵靠所述滑块和所述定位件。

3.根据权利要求2所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述定位件是定位栓，所述弹性件是弹簧。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述刻度均匀分布在所述圆形托盘上。

5.根据权利要求4所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述刻度的数目为3，所述刻度两两之间的夹角为120°。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述化学机械研磨抛光头压力环安装装置还包括至少三定位直尺，所述定位直尺径向设置在所述圆形托盘上，所述刻度设置在所述定位直尺上通过所述定位直尺间接设置在所述圆形托盘上，所述滑槽沿所述定位直尺设置。

7.根据权利要求6所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述定位直尺均匀分布在所述圆形托盘上。

8.根据权利要求7所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述定位直尺的数目是3，所述定位直尺两两之间的夹角为120°。

9.根据权利要求1所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述圆形托盘上设置有至少一同心圆环线。

10.根据权利要求9所述的化学机械研磨抛光头压力环安装装置，其特征在于，所述圆形托盘上设置有16圈同心圆环线。