[实用新型]识别工具有效

专利信息
申请号: 200920066833.2 申请日: 2009-01-13
公开(公告)号: CN201364885Y 公开(公告)日: 2009-12-16
发明(设计)人: 郭莹莹;赵俊深 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 识别 工具
【权利要求书】:

1、一种识别工具,用以识别晶舟盒内晶片上的标记,其特征在于,包括:

支撑台,用以放置所述晶舟盒;

驱动装置,设置于所述支撑台内;以及

斜板,设置于所述支撑台内对应于晶舟盒底部的位置,与所述驱动装置连接;

其中,所述驱动装置推动所述斜板沿所述支撑台上升,以将所述晶片顶出所述晶舟盒。

2、如权利要求1所述的识别工具,其特征在于,所述驱动装置包括:

电机,设置于所述支撑台内;

丝杠,设置于所述支撑台内,并由所述电机带动旋转;以及

滑块,安装在所述丝杠上,与所述斜板滑动连接,通过所述电机的带动而沿所述丝杠线性运动,并推动所述斜板沿所述支撑台上升或下降。

3、如权利要求2所述的识别工具,其特征在于,所述驱动装置还包括一导轨,其与所述滑块滑动连接,并与所述丝杠平行设置。

4、如权利要求1所述的识别工具,其特征在于,所述支撑台具有一容置部,所述容置部的截面呈“V”型。

5、如权利要求1所述的识别工具,其特征在于,所述斜板为梯形或三角形。

6、如权利要求1所述的识别工具,其特征在于,所述支撑台的材质为金属。

7、如权利要求1所述的识别工具,其特征在于,所述斜板的材质为铁氟龙。

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