[实用新型]一种大功率二氧化碳激光器谐振腔

权利要求书

1、一种大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：包括前端板(1)、后端板(2)殷钢管(3)、放电管(4)、阴电极(5)、储气筒(7)、前镜(8)、尾镜(9)、折返镜(10)和阳极座(13)，所述的殷钢管(3)设置在前端板(1)和后端板(2)之间，放电管(4)之间通过阴电极(5)、阳极座(13)连接，若干放电管(4)构成一组放电腔，其中第一组放电腔的一个端部设有前镜(8)，最后一组放电腔的一个端部设有尾镜(9)，其余放电腔的端部设有折返镜(10)。

2、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：放电管(4)的直径为18～30mm，长度为230mm～260mm。

3、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：前镜(8)的曲率半径为20-30m，透射率为60％。

4、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：尾镜(9)的曲率半径为20-30m，透射率为千分之五。

5、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：所述的储气筒(7)的一端安装在前端板(1)上，另一端安装在后端板(2)上，所述的储气筒(7)上设有支承座(11)，安装阴电极(5)的支撑板(12)固定在支承座(11)上。

6、根据权利要求1或5所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：所述的储气筒(7)的横截面为空心圆筒体。

8、根据权利要求5所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：所述的支撑板(12)由环氧树脂制成。

9、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：所述殷钢管(3)的水平度小于0.05mm。

10、根据权利要求1所述的大功率二氧化碳激光器谐振腔，其特征是：放电腔组和前镜(8)、尾镜(9)、折反镜(10)的水平度小于0.15mm。