[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，包括驱动模组及设置于驱动模组上的料杆，所述料杆用于挂设待镀工件，所述驱动模组用于驱动料杆转动，其特征在于：还包括导电滑环及电压导入盘，所述电压导入盘与所述料杆相连，所述导电滑环包括定子部及可相对定子部转动的转子部，所述定子部上设有定子导线用于与电压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的电压通过所述电压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：所述驱动模组包括转盘、公转驱动件及自转驱动件，所述公转驱动件与所述转盘连接，用于驱动所述转盘自转，所述自转驱动件固定设置于转盘上并可随转盘转动，所述料杆的一端连接于自传驱动件上并可在自转驱动件的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上。

3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于：还包括支架及绝缘块，支架的一端固定连接于转盘上，绝缘块夹设于电压导入盘与支架的另一端之间。

4.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于：所述导电滑环的转子部的转子导线固定连接于电压导入盘上且呈对称设置，所述转子部通过转子导线的牵引随电压导入盘转动。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：还包括支撑杆，所述支撑杆的端部形成承载部，所述导电滑环的定子部固定设置于所述承载部上。

6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于：还包括固定块，所述固定块包括抵压部、定位部及连接部，所述连接部固定连接于支撑杆的承载部上，所述定位部由连接部的内缘向上延伸且套设于导电滑环的外围，所述抵压部由定位部的顶端弯折向内延伸且与导电滑环的定子部的顶部相抵靠。

7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置还包括溅镀室以及靶材，所述溅镀室包括底壁、顶壁及连接所述底壁和顶壁的侧壁，所述料杆、导电滑环及电压导入盘均设置于溅镀室内，所述靶材设置在所述溅镀室的侧壁上，作为对待镀工件进行溅镀的溅射源。

8.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于：所述溅镀室的侧壁上开设有与溅镀室相连通的进气口及抽气口，所述进气口用于将溅镀所需的反应气体通入到溅镀室内，所述抽气口用于对溅镀室进行抽真空处理。

9.一种镀膜装置，包括转盘、固定设置于转盘上的自转驱动件及料杆，所述料杆用于挂设待镀工件，其特征在于：还包括导电滑环及电压导入盘，所述料杆的一端连接于自传驱动件上并可在自转驱动件的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上，所述导电滑环包括定子部及可转动地设置于定子部内的转子部，所述定子部上设有定子导线用于与电压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的电压通过所述电压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上。

10.如权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于：还包括支撑杆与固定块，所述支撑杆的端部形成承载部，所述固定块包括抵压部、定位部及连接部，所述连接部固定连接于支撑杆的承载部上，所述定位部由连接部的内缘向上延伸且套设于导电滑环的外围，所述抵压部由定位部的顶端弯折向内延伸且与导电滑环的定子部相抵靠。