[发明专利]刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置有效
申请号: | 200910311897.9 | 申请日: | 2009-12-21 |
公开(公告)号: | CN101736323A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 沈彬;孙方宏;张志明;沈荷生;郭松寿 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/27 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刀具 表面 金刚石 复合 涂层 制备 装置 | ||
1.一种刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置,包括:反应罩、合金钻头、 支撑台及冷却装置、直流偏压电源、热丝电源、气压控制装置、耐高温弹簧、热 丝和钻头支架,其特征在于:合金钻头和耐高温弹簧分别竖直设置于钻头支架上, 热丝的两端分别与耐高温弹簧相连接,钻头支架固定设置于支撑台及冷却装置 上,反应装置固定设置于支撑台及冷却装置以及钻头支架的外部并与气压控制装 置相连接,直流偏压电源分别于热丝及反应罩外壳相连,热丝电源的分别与热丝 及耐高温弹簧相连;
所述的热丝共两根,该两根热丝位于合金钻头的两侧同一平面内、且成平行 等间距排列,两根热丝的两端相连接;
所述的反应罩上设有气体入口和观察窗,其中:气体入口位于反应罩的顶部, 观察窗位于反应罩的侧面。
2.根据权利要求1所述的刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置,其特征 是,所述的热丝电源的加热温度为2000-2400℃。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的