[发明专利]真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，其具有一腔体以及收容在腔体内的轨道、多个料杆以及多对靶材，料杆设置在轨道上，每个料杆能够绕自身中心轴转动且挂设有多个待镀工件，每对靶材分设在轨道内外两侧，所述多对靶材分别用于对多个待镀工件镀膜，其特征在于，所述轨道包括多个弧形轨道部，每两个相邻的弧形轨道部之间为弧形连接且使得轨道呈封闭状。

2.如权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，腔体形成有一溅镀腔，腔体上设置有与溅镀腔相连通的进气管以及抽气管，进气管用于供溅镀所需的反应气体进入到溅镀腔内，抽气管用于对溅镀腔进行抽真空处理。

3.如权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述轨道包括驱动部以及与驱动部传动连接的传动部，驱动部用于带动传动部在腔体内连续运动，所述传动部用于带动所述多个料杆运动。

4.如权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，传动部为传动链条，该传动链条上设置有多个固持孔，每个料杆对应固定于每个固持孔上。

5.如权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，每个驱动部包括马达以及与马达连接的齿轮，马达驱动所述齿轮旋转，所述传动链条的外边缘开设有多个与所述齿轮啮合的轮齿，使得所述马达能够通过所述齿轮驱动所述传动链条运动。

6.如权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述驱动部具有一控制装置，所述控制装置内预先设置有马达驱动时间以及驱动效率，所述控制装置用于根据所述马达驱动时间以及驱动效率控制多个料杆在轨道上的运动时间。

7.如权利要求3所述的真空镀膜装置，其特征在于，每个料杆包括一主杆以及多个从沿主杆径向向外延伸的支杆，主杆通过一致动部与传动部连接，致动部用于驱动主杆绕自身中心轴旋转，支杆用于悬挂待镀工件以进行镀膜处理。

8.如权利要求7所述的真空镀膜装置，其特征在于，致动部包括定子和转子，定子固定至传动链条上，转子与主杆固定以驱动主杆旋转。