[发明专利]压印模具无效
| 申请号: | 200910300816.5 | 申请日: | 2009-03-13 |
| 公开(公告)号: | CN101833238A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
| 发明(设计)人: | 余泰成 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压印 模具 | ||
1.一种压印模具,其包括第一表面和设置在第一表面上的图案区域,其特征在于:所述图案区域的周围分布两个位于第一方向的第一对准标记、两个位于第二方向的第二对准标记及N个第三对准标记,第一方向与第二方向垂直且交点为所述第一表面的几何中心,所述第三对准标记以所述第一表面的几何中心为中心对称分布,其中,N为大于等于4的偶数。
2.如权利要求1所述的压印模具,其特征在于:位于第一方向两侧且位于第二方向同侧的所述第三对准标记以第一方向为对称轴对称分布。
3.如权利要求1所述的压印模具,其特征在于:位于第二方向两侧且位于第一方向同侧的所述第三对准标记以第二方向为对称轴对称分布。
4.如权利要求1所述的压印模具,其特征在于:所述第一对准标记以第二方向轴为对称轴对称分布,所述第二对准标记以第一方向为对称轴对称分布。
5.如权利要求1至4任一所述的压印模具,其特征在于:所述图案区域之间具有第一方向的沟槽,使得相邻图案区域相互连通。
6.如权利要求1至4任一所述的压印模具,其特征在于:所述图案区域之间具有第二方向的沟槽,使得相邻图案区域相互连通。
7.如权利要求1至4任一所述的压印模具,其特征在于:所述图案区域之间具有第一方向和第二方向的沟槽,使得相邻图案区域相互连通。
8.如权利要求7所述的压印模具,其特征在于:最外层的图案区域具有指向压印模具外部的沟槽。
9.如权利要求1至4任一所述的压印模具,其特征在于:所述第一对准标记、第二对准标记及第三对准标记的结构相同。
10.如权利要求9所述的压印模具,其特征在于:所述第一对准标记、第二对准标记及第三对准标记为十字形、I字形、E字形或F字形。
11.如权利要求1至4任一所述的压印模具,其特征在于:所述第一对准标记、第二对准标记及第三对准标记的结构两两不相同。
12.如权利要求11所述的压印模具,其特征在于:所述第一对准标记、第二对准标记及第三对准标记为十字形、I字形、E字形或F字形。
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