[发明专利]一种薄膜制备装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜制备装置，尤其涉及一种前驱体溶液中各组分混合均 匀的薄膜制备装置。

背景技术

目前，薄膜制程技术广泛应用于半导体工业及精密机械上，由于利用薄膜 制程技术所生产的产品具有很高附加价值，使薄膜制程技术与薄膜材料被广泛 应用于研究和实际，同时带来镀膜技术的迅速发展。

氧化锌薄膜是一种广泛应用于各种工业产品的透明薄膜，其可以提高产品 表面的光泽度并保护产品表面不被划伤。为了达到提高薄膜的电阻、增加薄膜 的光吸收特性、降低薄膜内应力等目的，通常会在氧化锌薄膜内掺杂铝、铟、 铜、铁或锡等元素。如葛水兵等人发表于材料科学与工程2000年第三期中的文 献《ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究》中的介绍。

现有技术中，往氧化锌薄膜中掺杂铝、锡等元素常用的方法是以锌源溶液 作为镀膜溶液，以含铝、锡等掺杂元素的溶液作为掺杂剂溶液，将镀膜溶液与 掺杂剂溶液直接混合得到前驱体溶液，再将前驱体溶液沉积于待镀膜的基板表 面以制备薄膜。然而，采用该直接混合方式得到的前驱体溶液中镀膜溶液与掺 杂剂溶液难以有效混合，导致所得薄膜结晶品质不佳。此外，该前驱体溶液极 可能在放置一段时间后发生化学反应从而析出副产物，该副产物将污染前驱体 溶液，也会影响镀膜品质。

因此，有必要提供一种前驱体溶液中各组分混合均匀的薄膜制备装置。

发明内容

一种薄膜制备装置包括前驱体溶液制备装置和薄膜沉积装置。所述前驱体 溶液制备装置包括储液罐、汽化装置和吸收塔。所述储液罐和所述汽化装置均 与所述吸收塔相连通。所述储液罐用于储存镀膜溶液并向吸收塔提供镀膜溶液。 所述汽化装置用于汽化掺杂剂溶液并向吸收塔提供汽化后的掺杂剂溶液。所述 吸收塔为板式吸收塔、填料塔或湍球塔，当所述吸收塔为板式吸收塔时，板式 吸收塔的塔板为筛孔塔板、浮阀塔板或泡罩塔板，所述吸收塔用于使镀膜溶液 吸收汽化后的掺杂剂溶液溶液从而得到前驱体溶液。所述薄膜沉积装置用于将 前驱体溶液导至待镀膜的基板表面以形成薄膜。

相比于现有技术，上述薄膜制备装置的前驱体溶液制备装置包括汽化装置 和吸收塔，汽化装置可使掺杂剂溶液汽化，吸收塔可使镀膜溶液充分吸收汽化 后的掺杂剂溶液，从而得到各组分充分混合的前驱体溶液，进而使得薄膜沉积 装置得到相态均匀的薄膜。此外，该薄膜制备装置还可方便地控制前驱体溶液 的组分。

附图说明

图1为本技术方案实施例提供的薄膜制备装置的结构示意图。

图2为使用本技术方案实施例提供的薄膜制备装置制备掺杂有铝元素的氧 化锌薄膜的示意图。

图3为使用本发明实施例提供的薄膜制备装置制得的掺杂铝元素的氧化锌 薄膜的扫描电子显微镜（SEM）照片。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步详细说明。

请参阅图1，本实施例提供一种薄膜制备装置10，其用于制备前驱体溶液 并将该前驱体溶液导至待镀膜的基板表面以形成薄膜。薄膜制备装置10包括前 驱体溶液制备装置11和薄膜沉积装置12。

所述前驱体溶液制备装置11用于制备前驱体溶液。前驱体溶液制备装置11 包括汽化装置110、储液罐111和吸收塔112。

汽化装置110用于加热掺杂剂溶液以使其汽化。本实施例中，汽化装置110 包括容置腔1101和加热部1102。所述容置腔1101用于容置待汽化的掺杂剂溶 液。所述加热部1102用于对容置腔1101内的掺杂剂溶液提供热量以使掺杂剂 溶液汽化。优选地，汽化装置110的容置腔1101上方可设置一载气入口，往其 中充入载气（如氮气）以使载气带动汽化后的掺杂剂溶液进入吸收塔。

储液罐111用于储存镀膜溶液并向吸收塔112提供镀膜溶液。储液罐111 具有一个阀门1110用于调节进入吸收塔112的镀膜溶液的流量。