[发明专利]保管及供给基板的系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于将流动于一系列制造工序中的多个玻璃基板等对象物暂 时保管，并向下一个工序的装置供给的系统。

背景技术

在半导体器件或液晶面板的制造中，经常使用玻璃制的基板。在制造工序 的过程中，多个玻璃基板被暂时保管，然后依次向下一个工序用的装置供给。 在该保管工序中，为了便于玻璃基板的保管和搬送，利用构成为能够容纳多个 玻璃基板的盒。由于玻璃基板以容纳在盒中的状态保管，因此可防止损伤和变 形，而且便于搬入。相关技术公开于日本国特开2005-60110号公报中。

发明内容

在保管工序中，若平面地排列多个盒，则为此需要确保较大的面积。本发 明是鉴于该问题而做出的，目的在于提供一种用于保管及供给基板的节省面积 的系统。

根据本发明的第一方案，用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个 工序的装置供给的系统的特征在于，具备与上述装置邻接的第一工位和至少一 部分与上述第一工位邻接的第二工位，上述第一工位具备：构成为在支撑上述 容器的同时进行升降的第一支撑体；构成为可与上述第一支撑体交错地进行升 降，且构成为通过与上述第一支撑体的交错而从上述第一支撑体接受上述容器 的第二支撑体；构成为使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置 依次对位的升降机构；以及将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从 上述容器向上述装置送出的送出机构，上述第二工位具备：构成为在支撑上述 容器的同时进行升降的第三支撑体；为了将上述容器交接到上述第一支撑体上 而将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置；以及使上述第三支撑体 升降的升降装置。

优选上述第一工位还具备将上述容器从上述第二支撑体向上述第二工位 移动的第二移动装置，上述第二工位还具备构成为接受并保管利用上述第二移 动装置移动的上述容器的支撑机构。更优选上述第二工位的上述支撑机构构成 为在上述第三支撑体升降时可与上述第三支撑体交错，且构成为通过与上述第 三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。进一步优选上述第二工位 的上述支撑机构构成为，具备可在第一位置和第二位置之间伸缩的臂，上述臂 在上述第一位置不妨碍上述第三支撑体的升降，上述臂在上述第二位置通过与 上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。

或者优选上述第一工位的上述送出机构具备以驱动的方式与位于上述特 定位置的上述对象物的下面接触的滚子。

或者优选上述第二工位具备移动体，该移动体构成为使上述第三支撑体沿 水平方向移动并与上述第一工位邻接。

或者优选上述第一移动装置具备可沿水平方向移动的第一滑块和相对于 上述第一滑块可进一步沿水平方向移动的第二滑块，上述第三支撑体构成为能 够与上述第二滑块一起移动。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的保管及供给基板的系统的正视图。

图2是沿着图1中的II-II线的上述系统的侧视图。

图3是沿着图1中的III-III线的上述系统的侧视图。

图4是放大图3中用箭头IV所示的部分的放大侧视图。

图5是表示动作过程中的一个状态的上述系统的正视图。

图6是表示动作过程中的另一个状态的上述系统的正视图。

图7是表示动作过程中的其他状态的上述系统的正视图。

图8是用于上述系统的盒的纵剖视图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。为了便于说明，如各图所示， 在水平方向定义X、Y方向。该定义是为了便于说明，本发明不必限定于此。

在本说明书和附加的权利要求的保护范围中，将“交错(行き違い)”之 词定义为“一个要素不干涉另一个要素且通过该另一个要素”来使用。例如球 通过直径比它大的框或一个要素通过另一个要素的旁边就是“交错”的例子。

参照图1，本发明的一个实施方式的系统1是用于暂时保管容纳有供液晶 面板等的制造的玻璃基板等对象物W，并向下一个工序的装置5供给的系统。 该系统1根据需要设置在净化间内等来使用。作为对象物W，整体为平面状 的比较薄的物体、例如液晶面板用的玻璃基板等薄板较为合适。