[发明专利]保管及供给基板的系统

权利要求书

1.一种系统，用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装 置供给，其特征在于，

具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第 二工位，

上述第一工位具备：

构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；

构成为可与上述第一支撑体交错地进行升降，且构成为通过与上述第一支 撑体的交错而从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；

构成为使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位 的升降机构；以及

将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置 送出的送出机构，

上述第二工位具备：

构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；

为了将上述容器交接到上述第一支撑体而将上述第三支撑体沿水平方向 移动的第一移动装置；以及

使上述第三支撑体升降的升降装置，

将上述交错定义为一个要素不干涉另一个要素且通过该另一个要素。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

上述第一工位还具备将上述容器从上述第二支撑体向上述第二工位移动 的第二移动装置，上述第二工位还具备构成为接受并保管利用上述第二移动装 置移动的上述容器的支撑机构。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，

上述第二工位的上述支撑机构构成为在上述第三支撑体升降时可与上述 第三支撑体交错，并构成为通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体 接受上述容器。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

上述第二工位的上述支撑机构构成为，具备可在第一位置和第二位置之间 伸缩的臂，上述臂在上述第一位置不妨碍上述第三支撑体的升降，上述臂在上 述第二位置通过与上述第三支撑体的交错而从上述第三支撑体接受上述容器。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

上述第一工位的上述送出机构具备以驱动的方式与位于上述特定位置的 上述对象物的下面接触的滚子。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

上述第二工位具备移动体，该移动体构成为使上述第三支撑体沿水平方向 移动并与上述第一工位邻接。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

上述第一移动装置具备可沿水平方向移动的第一滑块、和相对于上述第一 滑块可进一步沿水平方向移动的第二滑块，上述第三支撑体构成为能够与上述 第二滑块一起移动。