[发明专利]排气系统无效
| 申请号： | 200910246312.X | 申请日： | 2009-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102072544A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孙屏 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/06 | 分类号： | F24F7/06;F24F11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种排气系统，包括至少一个排气子系统，所述排气子系统包括压力基准点、压力控制点、排风机和风管集管，其特征在于，所述排气子系统的压力基准点设置在室内。
2.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，在所述排气系统包括多个排气子系统时，所述多个排气子系统的压力基准点集中设置在室内。
3.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述多个排气子系统的压力基准点联合在一起，构成一个共用压力基准点。
4.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统包括酸排气子系统、碱排气子系统、挥发性有机类溶剂排气子系统和一般排气子系统。
5.如权利要求1、2或3所述的排气系统，其特征在于，还包括设置于室内的零点箱，所述一个或多个排气子系统的压力基准点配置在所述零点箱内。
6.如权利要求1、2或3所述的排气系统，其特征在于，还包括设置于室内的中控室，所述一个或多个排气子系统的压力控制点配置在所述中控室内。
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