[发明专利]晶圆表面脱液处理装置

权利要求书

1.一种晶圆表面脱液处理装置，其特征在于，其中包括：

一卡口部，为空心柱体，其一端沿柱体的中心横向开有一贯通的矩形凹槽，该卡口部用于与高速离心旋转装置接合；

一晶圆托，为盘状，一面为凸起部，另一面为凹部，该晶圆托的凸起部的中心与卡口部的未开有矩形凹槽的一端固接，该晶圆托用于放置晶圆，固接后的卡口部与晶圆托的中心开有一贯通的漏液孔，该漏液孔用于初始液体的漏掉，该晶圆托的外径的边缘形成有一阻挡环，该阻挡环高于晶圆托的表面，该阻挡环用于旋转时挡住晶圆，防止晶圆飞出，该阻挡环沿轴心的放射方向开有多个脱液孔，用于旋转时液体的甩掉。

2.根据权利要求1所述的晶圆表面脱液处理装置，其中漏液孔的直径为2-4mm。

3.根据权利要求1所述的晶圆表面脱液处理装置，其中阻挡环上脱液孔的数量为24-30个。

4.根据权利要求3所述的晶圆表面脱液处理装置，其中脱液孔的直径为2-2.5mm。

5.根据权利要求1所述的晶圆表面脱液处理装置，其中所述的卡口部与晶圆托用聚四氟乙烯材料制成。

6.根据权利要求5所述的晶圆表面脱液处理装置，其中所述的卡口部与晶圆托为一体结构。