[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构。

技术背景

由于投影光刻物镜是由多个镜片组成，它的像质已接近衍射极限，因而镜片细微的偏心变化都会对像质产生不良影响，这使现场像质微量可调功能显得十分必要。目前，现有的微调机构均不能保证物镜在位置调整过程中对镜片造成的应力变形要求，及水平方向上的扭摆要求。

发明内容

本发明的技术解决问题是：为了克服因镜片细微的偏心变化对像质产生的不良影响，提供一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，使得物镜在位置调整过程中，不会因外力的作用而产生应力变形及水平方向上的扭摆，使得现场像质微量调整成为可能，保证了镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心的装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微头安装在镜筒中并与物镜光轴垂直，弹性垫安装在镜片框的侧面，导向柱底座与镜片框的接触面为弹性垫；滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中。

本发明与现有技术相比的优点在于：本发明在投影光刻物镜的镜片框及镜筒上按放镜片偏心微调机构，调微头安装在镜筒中，当旋转调微头使其向前位移运动时，调微头的前端推动滑块沿弹性导向柱运行推动镜片框，使镜片相对物镜光轴向产生一定的偏心位移。由于调微头推动的滑快是沿其导向柱指引的方向运动，因此，防止了镜片框在被推动时产生水平方向的扭摆，保证了镜片相对于物镜光轴的径向位移。又因弹性垫与镜片框的接触面为弹性物质，因此，镜片框的受力得到了缓冲，镜片框由点受力变为面受力，保证了镜片相对于物镜光轴的径向移动，也有效地防止了镜片框被推动时因外力作用而产生的应力变形和平面扭摆，提高各透镜对轴心的装调精度，提高成像质量，保证投影物镜长期稳定可靠的工作。另外，此镜片偏心微调机构具有结构简单、易调整、成本低的特点。

附图说明

图1为本发明的结构原理图；

图2为本发明的三个偏心微调机构安装示意图；

图3为本发明的导向柱安装在导向底座中的示意图；

图4为本发明的滑块示意图；

图5为本发明的装配示意图。

具体实施方式

如图1、5所示，本发明的镜片偏心微调机构安装在镜片框6及镜筒8上，镜片框6位于镜筒8内，并与镜筒8之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头1、滑块2、导向柱3、导向柱底座4、弹性垫5。本发明实施例中弹性垫可以为弹性硅胶类等弹性物质。调微头1安装在镜筒8中并与物镜光轴向垂直，弹性垫5安装在镜片框6的侧面，导向柱底座4与镜片框6的接触面为弹性垫5。如图3、4所示，滑块2镶嵌在导向柱底座4上的导向柱3中，为了保证滑块移动的直线性及平整度，导向柱3的数量为6个，但不限于6个，可根据具体情况增减。调微头1为铜质螺纹结构，可左右旋转调整镜片的前后位移量；滑块2为平面钢板，上面有6个孔，其孔的间隔尺寸与导向柱3的6个导向柱间隔尺寸相同；导向柱3、导向柱底座4均为铜质材料。

当旋转调微头1使其向前位移运动时，调微头1的前端推动滑块2沿弹性导向柱3运行，再通过导向底座4前端的弹性垫5推动镜片框6，使镜片7相对物镜光轴向产生一定的偏心位移。由于调微头1推动的滑快2是沿其导向柱3指引的方向运动，因此，防止了镜片框6在被推动时产生平面扭摆，保证了镜片7垂直于物镜光轴的径向位移。又因弹性垫5与镜片框6的接触面为弹性物质，因此，镜片框6的受力得到了缓冲，镜片框6由点受力变为面受力，保证了镜片7相对与物镜轴心的径向移动，也有效地防止了镜片框7被推动时而产生的应力变形和平面扭摆。

如图2所示，在镜片框360°的范围内以120°等间距安装3个镜片偏心微调机构。包括但不限于3个，可根据具体情况决定安装镜片偏心微调机构的个数，以便调整方便。其目的是可根据具体情况从多个方向对镜片进行调整，保证透镜对光轴心的装调精度。总之，本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的偏心调整，以达到镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。