[发明专利]一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构有效
| 申请号： | 200910237660.0 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101710204A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王建;胡松;赵立新;邢薇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 物镜 中的 镜片 偏心 微调 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框(6)及镜筒(8)上，镜片框(6)位于镜筒(8)内，并与镜筒(8)之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头(1)、滑块(2)、导向柱(3)、导向柱底座(4)、弹性垫(5)；调微头(1)安装在镜筒(8)中并与物镜光轴垂直，弹性垫(5)安装在镜片框(6)的侧面，导向柱底座(4)与镜片框(6)的接触面为弹性垫(5)；滑块(2)镶嵌在导向柱底座(4)上的导向柱(3)中。
2.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述的镜片偏心微调机构为3个，安装在镜片框(6)上在360°内以120°等分均匀放置。
3.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述弹性垫(5)为弹性硅胶类弹性物质。
4.根据权利要求1所述的一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，其特征在于：所述的导向柱(3)为6个。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910237660.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
