[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 200910226413.0 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101737502A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 渡边雅之;吉安一智 | 申请（专利权）人： | 喜开理株式会社 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/32;F16K31/122;F16K51/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空阀，包括：具有阀座的阀壳；与所述阀座抵接或从所 述阀座分开的阀芯；及向所述阀芯施加驱动力的驱动部，所述驱动部 包括：与所述阀芯连接的驱动轴；连接在所述驱动轴的与所述阀芯相 反的一侧的活塞；具有收纳所述活塞的活塞室的气缸；及被所述活塞 保持而划分所述活塞室的波形隔膜，所述真空阀的特征在于，
所述活塞具有在移动方向上突出的突起部或凹部，
所述气缸在与所述突起部或凹部相对的面上形成有真空阀分解时 与所述突起部或所述凹部嵌合而进行所述活塞的制动的制动部。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，
所述活塞以使用所述真空阀时在所述阀芯可移动的范围内不会使 所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方式固定于所述驱动轴 上。
3.如权利要求1或权利要求2所述的真空阀，其特征在于，
具有在所述突起部或所述凹部与所述制动部嵌合的方向上对所述 活塞施力的施力部件。
4.如权利要求3所述的真空阀，其特征在于，
在解除了所述驱动部和所述阀壳的连接时，所述突起部或所述凹 部借助于所述施力部件的作用力与所述制动部嵌合。
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