[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置及其制造方法，更具体地涉及一种包括有机电致 发光元件的显示装置和用于制造该显示装置的方法。

背景技术

利用有机材料的电致发光(下文中称为“EL”)的有机电致发光元件 在用作阳极或阴极的下电极和上电极之间具有包括有机空穴传输层和层 压在其上的有机发光层的有机层，并且作为能够通过低电压直流驱动来发 射高亮度光的发光元件，已引起关注。

采用上述有机电致发光元件的有源矩阵显示装置具有在覆盖利用薄 膜晶体管形成的像素驱动电路的中间层绝缘膜上设置有机电致发光元件 的结构。因此，为了保证像素的孔径比，有机电致发光元件有利地形成为 具有所谓上表面光提取结构(下文中称为“顶部发射结构”)，在该结构中 从与基底相对的侧面提取光。

在顶部发射结构中，当使用具有较好光反射特性的金属材料比如铝或 银作为下电极时，可以改进有机电致发光元件的发光提取效率。在这种情 况下，由于铝和银均具有高功函数，由铝和银形成的下电极用作阳极。因 此，形成上电极以用作阴极。

此外，在具有上述顶部发射结构的有机电致发光元件中，电场集中在 下电极和上电极之间的距离由于光反射性金属材料形成的下电极的表面 粗糙而局部变窄的部分上，结果，下电极和上电极之间易于发生短路。因 此，提出了光反射性金属材料层和由光反射性金属材料的氧化物组成的缓 冲薄层彼此层压的下电极结构。根据以上提议，通过上述结构，通过由氧 化物组成的缓冲薄层降低了金属材料层的表面粗糙程度，可以使得上电极 和下电极之间的距离均匀，从而可以防止由电场集中引起的短路(见日本 未审查专利申请第2002-216976号公开)。

发明内容

在有机电致发光元件被布置在基底上的显示装置中，设置绝缘图案以 用于有机电致发光元件的元件隔离。设置这种具有孔径窗以宽范围地暴露 下电极的绝缘图案以覆盖下电极的外围，并且通过光刻工艺中的图案化以 光敏成分形成。因此，当形成绝缘图案时，下电极暴露于在光刻工艺的显 影处理中所用的碱性显影溶液中。然而，由于形成光反射性下电极的铝和 银是对碱性溶液具有较差抗耐性的材料，因此下电极在该显影处理中被损 伤，结果，可能出现显示器的点亮故障。

因此，期望提供一种显示装置以及制造该显示装置的方法，所述显示 器能够防止由下电极在显影处理中的降级而引起的顶部发射有机电致发 光元件的点亮故障。

因此，根据本发明的一个实施例的显示装置包括下电极，每一个下电 极具有光反射性第一金属材料层和设置在所述第一金属材料层上的第二 金属材料层，第二金属材料层具有比第一金属材料层好的碱性溶液抗耐 性。此外，根据以上实施例的显示装置还包括由光敏成分材料形成的绝缘 图案，所述绝缘图案具有开口部分以暴露下电极，并且覆盖下电极的外围。 此外，根据以上实施例的显示装置还包括有机层，每个有机层至少具有有 机发光层，并且所述有机层设置在开口部分中以便覆盖下电极。而且，根 据以上实施例的显示装置包括光透射性上电极，以便与下电极一起将有机 层夹在中间。

此外，根据本发明的一个实施例的用于制造显示装置的方法是用于制 造上述显示装置的方法，并且包括以下步骤。首先，通过图案化以形成下 电极，在每个下电极中，在光反射性第一金属材料层上设置具有比第一金 属材料层好的碱性溶液抗耐性的第二金属材料层。随后，通过光刻法形成 绝缘图案，所述绝缘图案具有开口部分以暴露下电极并且覆盖所述下电极 的外围。接着，在绝缘图案的开口部分中形成有机层以便覆盖下电极，每 一个有机层至少包括有机发光层。随后，形成光透射性上电极，以便与下 电极一起将有机层夹在中间。

具有如上所述的结构的显示装置包括有机电致发光元件，在每一个有 机电致发光元件中，在下电极和上电极之间之间设置有包括有机发光层的 有机层，并且所述显示装置是从光透射性上电极的侧面提取发射光的所谓 的顶部发射型显示装置。特别地，形成该结构以使得下电极的表面层由具 有比光反射性第一金属材料层好的碱性溶液抗耐性的第二金属材料层形 成。因此，例如，当形成绝缘图案时，可以通过该第二金属材料层的存在 来保证对光刻处理中所用的碱性溶液的抗耐性，结果，保持了第一金属材 料层的质量。