[发明专利]主动元件阵列基板及其制造方法有效
| 申请号: | 200910209177.1 | 申请日: | 2009-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN101673017A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
| 发明(设计)人: | 曾文贤;黄彦衡;白佳蕙;陈宗凯;郑为元;陈文川 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/02;H01L21/82 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;祁建国 |
| 地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 主动 元件 阵列 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种主动元件阵列基板及其制造方法,且尤其涉及一种能够改 善液晶错向(liquid crystal disclination)的主动元件阵列基板及其制造方 法。
背景技术
由于液晶显示面板具有高画质、体积小、重量轻、低电压驱动、低消耗功 率及应用范围广泛等优点,因此,已成为新一代显示装置的主流。传统的液晶 显示面板主要是由彩色滤光基板(color filter substrate)、薄膜晶体管阵列 基板(thin film transistor array substrate)以及配置于此两基板间的液 晶层所构成。为了提升液晶显示面板的分辨率与开口率(aperture ratio),并 且改善彩色滤光基板与薄膜晶体管阵列基板接合时的对位误差 (misalignment),一种将彩色滤光膜直接整合于像素阵列基板(Color Filter on Array,COA)的技术已被提出。
图1A为现有的主动元件阵列基板的上视示意图,而图1B为现有的主动元 件阵列基板在图1A中的I-I’剖面线处的剖面示意图。请参照图1A与图1B, 现有的主动元件阵列基板100包括一基板110、多条配置于基板110上的扫描 线120、多条配置于基板110上的数据线130、多个配置于基板110上的主动 元件140、一第一保护层150、一黑矩阵层160、多个彩色滤光层170、一第二 保护层180以及多个像素电极190。其中,所述的黑矩阵层160是由会遮蔽来 自背光模块(未绘示)的光线,即可遮蔽来自于基板110外表面(或称为未设置 有主动元件140的表面)的背光模块(未绘示)所发出的光线。而且,黑矩阵层 160的材质由不透明材料或不透明染料所构成的。另外,图1A中位于扫描在 线下二侧并平行于扫描线120且未标示的线段为共享/共享电极线(common line),以提供共享电位,例如:0伏特(Voltage,V)。各主动元件140具有 一栅极140G、一源极140S、一漏极140D以及一通道层140C,其中栅极140G 与其中一条扫描线120电性连接,源极140S与其中一条数据线130电性连接, 而各漏极140D则与各别像素电极190电性连接。第一保护层150覆盖栅极绝 缘层GI、扫描线120、数据线130以及主动元件140。黑矩阵层160配置于第 一保护层150上,其中黑矩阵层160具有多个开口160a,且黑矩阵层160位 于扫描线120与数据线130上方。彩色滤光层170配置于开口160a内。第二 保护层180共形地配置于黑矩阵层160与彩色滤光层170上,且第一保护层 150、彩色滤光层170与第二保护层180具有多个接触窗W,且所述接触窗W 以暴露出部份漏极140D。其中,第二保护层180并没有形成于各接触窗W的 侧边。像素电极190共形地配置于第二保护层180上,其中各像素电极190 分别通过其中一个接触窗W与各主动元件140的漏极140D电性连接。其中, 各像素电极190位于接触窗W时,各像素电极190的下表面仅会接触彩色滤光 170的侧边及部份上表面、第一保护层150的侧边、各漏极140D的部份上表 面与第二保护层180的侧边。
由于彩色滤光层170与黑矩阵层160的接触角A为钝角(即大于90度而小 于180度),因此,彩色滤光层170上表面与黑矩阵层160侧面之间会有凹陷 C产生,导致后续形成的像素电极190的上表面会出现凹陷C的现象。很明显 地,当各像素电极190通电时,位于凹陷C周围的液晶分子LC会因为凹陷C 及凹陷C上的各像素电极190而产生液晶错向的现象,进而导致液晶显示面板 的显示质量恶化。此外,在黑矩阵层160形成之后,若扫描线120、数据线130 以及主动元件140出现瑕疵(如扫描线120发生断线、扫描线120与其它线路 发生短路、数据线130发生断线,或数据线130与其它线路发生短路),这些 瑕疵将不容易被通过光学检测的方式检出。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种主动元件阵列基板及其制造方 法,以改善液晶向错所导致的显示质量恶化的问题。
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