[发明专利]主动元件阵列基板及其制造方法有效
| 申请号: | 200910209177.1 | 申请日: | 2009-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN101673017A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
| 发明(设计)人: | 曾文贤;黄彦衡;白佳蕙;陈宗凯;郑为元;陈文川 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/02;H01L21/82 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;祁建国 |
| 地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 主动 元件 阵列 及其 制造 方法 | ||
1.一种主动元件阵列基板,其特征在于,包括:
一基板;
多条扫描线,配置于该基板上;
多条数据线,配置于该基板上;
多个主动元件,配置于该基板上,其中各该主动元件分别与其中一条扫描 线及其中一条数据线电性连接;
一第一保护层,覆盖该些扫描线、该些数据线以及该些主动元件;
一透明衬层,配置于该第一保护层上,其中该透明衬层具有多个开口,而 该透明衬层位于该些扫描线与该些数据线上方;
多个彩色滤光层,配置于该些开口内;
一第二保护层,配置于该透明衬层与该彩色滤光层上,其中该第一保护层、 该些彩色滤光层与该第二保护层具有多个接触窗;
多个像素电极,配置于该第二保护层上,其中各该像素电极分别通过其中 一个接触窗与其中一个主动元件电性连接;以及
一黑矩阵层,配置于该透明衬层上方,以覆盖该些像素电极的部分区域;
该透明衬层与该些彩色滤光层之间具有凹陷,该黑矩阵层覆盖住该凹陷, 且该黑矩阵层具有平坦的一顶表面。
2.根据权利要求1所述的主动元件阵列基板,其特征在于,该透明衬层 具有一顶表面、一底表面以及多个连接于该顶表面与该底表面之间的侧表面。
3.根据权利要求2所述的主动元件阵列基板,其特征在于,该顶表面的 面积小于该底表面的面积。
4.根据权利要求2所述的主动元件阵列基板,其特征在于,该彩色滤光 层与各该侧表面的接触角大于90度。
5.根据权利要求2所述的主动元件阵列基板,其特征在于,该黑矩阵层 的涵盖面积大于该底表面的面积。
6.根据权利要求1所述的主动元件阵列基板,其特征在于,该黑矩阵层 覆盖于该透明衬层以及该些彩色滤光层的部分区域上方。
7.根据权利要求1所述的主动元件阵列基板,其特征在于,还包括多个 间隙物,配置于该黑矩阵层上。
8.一种主动元件阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
于一基板上形成多条扫描线、多条数据线以及多个主动元件;
于该基板上形成一第一保护层,以覆盖该些扫描线、该些数据线以及该些 主动元件;
于该第一保护层上形成一透明衬层,其中该透明衬层具有多个开口,该透 明衬层位于该些扫描线与该些数据线上方;
于该些开口内形成多个彩色滤光层;
于该透明衬层与该彩色滤光层上形成一第二保护层;
于该第一保护层、该些彩色滤光层与该第二保护层中形成多个接触窗;
于该第二保护层上形成多个像素电极,各该像素电极分别通过其中一个接 触窗与其中一个主动元件电性连接;以及
于该透明衬层上方形成一黑矩阵层,以覆盖该些像素电极的部分区域;
该透明衬层与该些彩色滤光层之间具有凹陷,该黑矩阵层覆盖住该凹陷, 且该黑矩阵层具有平坦的一顶表面。
9.根据权利要求8所述的主动元件阵列基板的制造方法,其特征在于, 形成该些扫描线、该些数据线以及该些主动元件的方法包括:
于该基板上形成一第一图案化导电层,其中该第一图案化导电层包括该些 扫描线以及多个与该些扫描线连接的栅极;
于该基板上形成一栅绝缘层,以覆盖该第一图案化导电层;
于该栅绝缘层上形成多个位于该些栅极上方的通道层;以及
于该些栅绝缘层上形成该些数据线、多个源极以及多个漏极。
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