[发明专利]化学气相沉积装置及其喷头

权利要求书

1.一种化学气相沉积装置的喷头，其特征在于，所述喷头包括：

主体，所述主体的一侧具有进气口，另一侧具有出气口；

底板，所述底板与主体活动连接，并密封所述出气口，所述底板包括至少两部分，所述底板的各部分之间密封活动连接，所述底板的各部分上具有通孔，气体从主体的进气口进入后，从所述通孔排出。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述主体的出气口为圆形，所述底板为圆形。

3.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述主体的外表面为圆柱形，所述底板各部分的形状相同，所述底板的各部分能够相对于主体沿主体的中心轴方向移动或者相对于主体中心轴倾斜。

4.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述底板为网状。

5.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述通孔在底板的各部分上均匀分布。

6.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述底板与主体之间的连接方式为活塞式连接，所述底板能够沿主体的内壁滑动。

7.一种包括权利要求1至4所述的喷头的化学气相沉积装置，其特征在于，还包括：

反应腔室；

基座，用于放置待进行化学气相沉积的晶片；

进气管，与主体的进气口连接；

控制装置，与所述底板的各部分单独连接，控制所述底板的各部分相对主体移动。

8.根据权利要求7所述的喷头，其特征在于，所述控制装置包括与所述底板的各部分数量一致的子控制装置，各子控制装置分别控制所述底板的对应部分相对于主体沿主体的中心轴方向移动或者相对于主体中心轴倾斜。

9.根据权利要求8所述的喷头，其特征在于，所述控制装置为步进马达。

10.根据权利要求7所述的喷头，其特征在于，还包括驱动装置，和基座相连，用于控制基座的移动。