[发明专利]衬底传输设备和用于制造磁记录介质的方法

权利要求书

1.一种衬底传输设备，包括：

通过闸阀相互连接的第一室和第二室；

传输机构，其构造成打开所述闸阀并将载体沿着传输路径从所述 第一室传输到所述第二室；

传感器，其构造成在从所述第一室通过所述闸阀传输到所述第二 室的所述载体到达所述第二室中的停止位置之前检测所述载体；以及

控制器，其构造成基于来自所述传感器的检测信号而在从所述第 一室通过所述闸阀传输到所述第二室的所述载体到达所述停止位置之 前使所述闸阀开始关闭。

2.根据权利要求1所述的衬底传输设备，还包括：

第一停止位置传感器和第二停止位置传感器，其构造成分别检测 在所述第二室中的停止位置处的所述载体的前端和后端，

其中，所述传感器位于所述第一停止位置传感器和所述第二停止 位置传感器之间的位置处，在该位置处当所述闸阀关闭时所述载体不 与所述闸阀碰撞。