[发明专利]气动阀诊断方法、气动阀诊断装置及气动阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于确认气动阀的动作状态的气动阀诊断方法、气动阀诊断装置及气动阀。

背景技术

在半导体生产线上液阀发生故障时，必须使生产线停止而更换液阀。为了防止因更换液阀而使生产线停止所造成的损害，需要定期进行液阀的更换。液阀在多数情况下不使用电磁阀而使用气动阀。

以往，作为液阀维修中的寿命诊断，有如专利文献1那样的诊断方法，其通过AE(Acoustic Emission：声发射技术，以下称为“AE”)传感器对AE波形及AE光谱图样进行观察记录。在此，所谓AE是指材料发生变形或开裂时材料将积蓄于内部的变形能量作为弹性波而释放的现象。利用设置于材料表面的变换元件即AE传感器对该弹性波进行检测，并通过进行信号处理而评价材料的破坏过程的方法就是AE法。

具体而言，专利文献1的发明的结构为，在气动阀的阀座部设置振动体，并由设置于阀座部附近的AE传感器和对来自该AE传感器的输出进行计测的AE计测装置构成。

专利文献1的作用为，振动体发生振动。由AE传感器对该振动进行检测，由信号解析装置进行解析，将其结果记录于AE计测装置。接着，在经过一定时间时通过同样的方法由AE传感器对振动进行检测，将其记录于AE计测装置。然后，在AE记录装置中对上次的振动和此次的振动进行比较，在振动明显不同时认为液阀达到寿命而进行更换。

专利文献1：日本特开平1-124739

但是，在专利文献1所记载的发明中，如果不将振动体设置于气动阀就不能对振动进行检测。将振动体设置于气动阀，不能使用普通的气动阀而需要使用特别定制的气动阀，因而，其制造上存在花费费用的问题。

另外，专利文献1所记载的发明中，由于将AE传感器设置于整个气动阀，因而需要多条配线，存在生产线拥挤而不能简约化的问题。此外，还存在AE传感器的部分花费较多的费用的问题。

另外，在使用专利文献1所记载的发明的情况下，由于具体的判定基准不明确，因而判定结果因维修人员而存在个人误差。

根据以上问题，希望有一种不需要振动体就可把握液阀即气动阀的动作状况而能够判断更换时间的诊断方法及可搬运的诊断装置。

发明内容

本发明为了解决上述问题而提出，其目的在于，提供一种气动阀的维修中的诊断方法、诊断装置及气动阀。

为了实现上述目的，本发明的一种实施方式的用于确认气动阀的动作状态的气动阀诊断方法、气动阀诊断装置及气动阀具有以下结构。

(1)一种用于确认气动阀的动作状态的气动阀诊断方法，其特征在于，包括：预备工序，在气动阀的初始状态下，使AE传感器抵接于气动阀，在将操作流体供给到气动阀的操作口时或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；第一工序，在气动阀重复动作后，使AE传感器抵接于气动阀，在将操作流体供给到气动阀的操作口时或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；以及确认工序，对在第一工序计测到的值和在预备工序计测到的值进行比较，以确认气动阀的动作状态的变化。

(2)如(1)所述的气动阀诊断方法，其特征在于，气动阀为液阀；第一工序对声音的变化进行比较，根据气动阀的动作状态的变化预测气动阀的故障，判断是否需要更换。

(3)如(1)或(2)所述的气动阀诊断方法，其特征在于，在第一工序计测、记录的值是操作口供给操作流体或排出操作流体时的阀开闭时发出的声音的最大值的平均值；将在确认工序计测、记录的值与最大值的平均值进行比较。在此，操作口供给操作流体或已排出操作流体时的阀开闭时发出的声音，包括气动阀的活塞冲击制动器时所产生的冲击音、给排空气的声音、弹簧伸缩的声音、O型环的摩擦音等。

(4)如(1)或(2)所述的气动阀诊断方法中，其特征在于，在第一工序计测、记录的值是从气动阀的声音产生之后直至气动阀的声音结束的时间的平均值即产生时间平均值；将在确认工序计测、记录的值与产生时间平均值进行比较。

(5)一种用于监视气动阀的动作状态而确认气动阀的动作状态的变化的诊断装置，其特征在于，具有：使AE传感器抵接于气动阀而计测气动阀开闭时发出的声音的计测单元；记录由计测单元计测的计测结果的记录单元；以及对将气动阀设置于所述制造装置而计测的记录于记录单元中的值和之后计测的值进行比较，以确认气动阀的动作状态的变化的单元。

(6)如(5)所述的气动阀诊断装置，其特征在于，气动阀诊断装置可搬运。