[发明专利]气动阀诊断方法、气动阀诊断装置及气动阀

权利要求书

1.一种气动阀诊断方法，用于确认气动阀的动作状态，其特征在于，包括：

预备工序，在所述气动阀的初始状态下，使AE传感器抵接于所述气动阀，在将操作流体供给到所述气动阀的操作口时，或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；

第一工序，在所述气动阀重复动作后，使AE传感器抵接于所述气动阀，在将操作流体供给到所述气动阀的操作口时，或在排出操作流体时，对开闭时发出的声音进行计测、记录；

以及确认工序，对在所述第一工序计测到的值和在所述预备工序计测到的值进行比较，以确认所述气动阀的动作状态的变化。

2.如权利要求1所述的气动阀诊断方法，其特征在于，

所述气动阀为液阀，

所述第一工序对声音的变化进行比较，根据所述气动阀的动作状态的变化预测所述气动阀的故障，判断是否需要更换。

3.如权利要求1或2所述的气动阀诊断方法，其特征在于，

在所述第一工序计测、记录的值是操作口供给操作流体或排出操作流体时的阀开闭时发出的声音的最大值的平均值，

将在所述确认工序计测、记录的值与所述最大值的平均值进行比较。

4.如权利要求1或2所述的气动阀诊断方法，其特征在于，

在所述第一工序计测、记录的值是从所述气动阀的声音产生之后直至所述气动阀的声音结束的时间的平均值即产生时间平均值，

将在所述确认工序计测、记录的值与所述产生时间平均值进行比较。

5.一种气动阀诊断装置，用于监视气动阀的动作状态而确认所述气动阀的动作状态的变化，其特征在于，具有：

使AE传感器抵接于所述气动阀而计测所述气动阀开闭时发出的声音的计测单元；

记录由所述计测单元计测的计测结果的记录单元；以及

对将所述气动阀设置于所述制造装置而计测的记录于记录单元中的值和之后计测的值进行比较，以确认所述气动阀的动作状态的变化的单元。

6.如权利要求5所述的气动阀诊断装置，其特征在于，

所述气动阀诊断装置可搬运。

7.如权利要求5所述的气动阀诊断装置，其特征在于，

所述记录单元能够特定对是否要更换所述气动阀进行了判断的对象气动阀，并具备将与所述特定的气动阀有关且记录于所述记录单元的计测结果向外部发送的通信单元。

8.一种气动阀，在如权利要求1或2所述的气动阀诊断方法中使用，其特征在于，

在所述气动阀的侧面形成有供所述AE传感器抵接的抵接部。

9.一种气动阀，在如权利要求3所述的气动阀诊断方法中使用，其特征在于，

在所述气动阀的侧面形成有供所述AE传感器抵接的抵接部。

10.一种气动阀，在如权利要求4所述的气动阀诊断方法中使用，其特征在于，

在所述气动阀的侧面形成有供所述AE传感器抵接的抵接部。