[发明专利]坩埚升降装置及坩埚的取出方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够机械化地从铸模等中取出坩埚的坩埚升降装置及 坩埚的取出方法。本发明的坩埚升降装置适合作为从铸模中自动地取出在硅 晶的拉晶过程中使用的石英玻璃坩埚的装置。

背景技术

在作为半导体器件材料的硅单晶、作为太阳能电池材料的硅晶等的拉晶 过程中，使用石英玻璃坩埚。例如，硅单晶主要通过如下方法来制造：将装 入在石英玻璃坩埚中的多晶硅块加热熔化使其成为硅熔液，将籽晶浸入此硅 熔液中进行拉晶，由此制造硅单晶。作为太阳能电池材料的硅晶也通过同样 的拉晶方法来制造。

石英玻璃坩埚通过旋转铸模法等来制造。该方法是通过在坩埚状的旋转 铸模的内表面上堆积规定厚度的石英粉，一边使铸模旋转一边加热熔化石英 粉层，通过使该石英粉层玻璃化来制造坩埚(专利文献1，2)。另外，还已 知一种制造石英玻璃坩埚的方法(专利文献3)，在该方法中使部分熔化了的 石英粉附着在旋转铸模的内表面上而制造石英玻璃坩埚。

专利文献1：JP特开昭56-17996号公报

专利文献2：JP特开昭56-149333号公报

专利文献3：JP特开平1-148718号公报

从铸模中取出制造好的石英玻璃坩埚时，目前是使铸模上下翻转来取出 坩埚，或者使铸模横向倾倒来引出坩埚，或者使吸盘吸附在坩埚上将其取出。 但是，在这些方法中，坩埚破损的危险性高，而且，由于在坩埚外表面附着 有大量的未熔化的石英粉末，所以还存在石英粉末附着在坩埚内表面而损伤 该内表面的危险性。另外，由于石英玻璃坩埚一受到撞击就容易破损，所以 通过机械的方式把持坩埚或铸模而从铸模中取出坩埚的装置危险性高。为 此，现在为了追求精细的力的调整而依赖于人工作业；但是，最近，由于坩 埚逐渐大型化，而希望实现不依赖于人工的机械自动化。

发明内容

本发明致力于解决现有的上述问题，通过以下所示的结构，提供一种能 够从铸模中容易地取出石英玻璃坩埚等的坩埚升降装置及取出坩埚的方法。

(1)一种坩埚升降装置，其特征在于，具有：紧密贴合在所述坩埚的 开口部的盖部件、对由该盖部件密封的坩埚的内部空间进行减压的装置以及 所述盖部件的上下运动机构，该坩埚升降装置将内部空间被减压了的坩埚与 盖部件一体地提升。

(2)所述(1)的坩埚升降装置，对于在硅晶的拉晶过程中使用的石英 玻璃坩埚，将盖部件密封在装在铸模中的石英玻璃坩埚的开口部，对该坩埚 的内部空间进行减压，并从铸模中取出该坩埚。

(3)在所述(1)或所述(2)中记载的坩埚升降装置，具有：支架、 由起吊装置连接的盖部件、穿过该盖部件并在坩埚内部空间开口的吸引管以 及连接到该吸引管的减压装置；该起吊装置具有自该支架上端的梁部进行上 下运动的机构。

(4)在所述(1)～(3)中任一项记载的坩埚升降装置，在盖部件的 周边设置有紧密贴合在坩埚开口部的缓冲部件。

(5)在所述(1)～(4)中任一项记载的坩埚升降装置，在连接板上 安装有与铸模上端部卡合的臂，能够与坩埚的上下运动独立地将所述臂卡合 在铸模上端部而提升铸模。

(6)一种坩埚的取出方法，其特征在于，使用一种坩埚升降装置，该 坩埚升降装置具有：紧密贴合在坩埚的开口部的盖部件、对由该盖部件密封 的坩埚的内部空间进行减压的机构以及所述盖部件的上下运动机构，该坩埚 升降装置将内部空间被减压了的坩埚与盖部件一体地提升；该方面的特征在 于，在坩埚开口部紧密贴合盖部件并对内部进行减压，另一方面，通过安装 有坩埚的铸模的通气孔，将压缩空气导入到铸模和坩埚之间，从铸模中将坩 埚与盖部件一体地提升。

发明效果