[发明专利]坩埚升降装置及坩埚的取出方法

权利要求书

1.一种坩埚升降装置，用于从铸模中取出容纳在所述铸模中的坩埚， 该坩埚升降装置包括：

紧密贴合在所述坩埚的开口部的盖部件、对由该盖部件密封的所述坩埚 的内部空间进行减压的减压装置以及上下运动机构，该上下运动机构在所述 坩埚的内部空间被减压了的状态下，将所述坩埚连同所述盖部件一起提升，

在所述盖部件或与其连接的连接板上设置有与所述铸模卡合的臂，

由此，在使所述臂与所述铸模卡合的状态下，所述上下运动机构能够将 所述铸模连同所述盖部件一起提升。

2.根据权利要求1所述的坩埚升降装置，其特征在于，在所述盖部件 的、与所述坩埚的开口部接触的部分设置有缓冲部件。

3.根据权利要求1所述的坩埚升降装置，其特征在于，还包括将气体 导入到所述铸模的内表面和所述坩埚的外表面之间的气体导入机构。

4.根据权利要求1所述的坩埚升降装置，所述坩埚是在硅晶的拉晶过 程中使用的石英玻璃坩埚。

5.根据权利要求1所述的坩埚升降装置，其特征在于，还包括支架，

所述上下运动机构被固定在所述支架上端的梁部，构成使所述盖部件上 下运动的起吊装置的一部分。

6.根据权利要求5所述的坩埚升降装置，还具有设置在所述梁部的移 动轨道和移动用马达，保持由所述起吊装置提升着所述坩埚的状态不变沿所 述移动轨道向外侧移动所述坩埚。

7.根据权利要求1所述的坩埚升降装置，所述减压装置连接在贯通所 述盖部件并在坩埚内部空间开口的吸引管上。

8.一种坩埚的取出方法，其特征在于，包括：

使具有臂的盖部件朝向铸模内的坩埚降下的工序；

在将盖部件紧密贴合在容纳在铸模中的所述坩埚的开口部的状态下，对 所述坩埚的内部空间进行减压的工序；

在所述坩埚的内部空间被减压了的状态下，通过将所述坩埚连同所述盖 部件一起提升，从所述铸模中将所述坩埚与盖部件一体地取出的工序；

在使所述臂与所述铸模卡合的状态下，将所述铸模连同所述盖部件一起 提升的工序。

9.根据权利要求8所述的坩埚的取出方法，其特征在于，在将所述坩 埚从所述铸模中取出时，还包括将气体导入到所述铸模的内表面和所述坩埚 的外表面之间的工序。