[发明专利]激光加工控制装置及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对激光加工中使用的脉冲激光的射出进行控制 的激光加工控制装置及激光加工装置。

背景技术

短脉冲激光加工装置是一种通过向印刷基板等被加工物脉冲照 射例如1～100微秒宽的脉冲激光，可以在印刷基板上形成直径为数 十μm～数百μm程度的通孔(孔)的工作机械。

在上述激光加工装置中，如果照射在1个加工孔上的激光的能 量(强度)总值偏离规定值，则使印刷基板上形成的孔的品质恶化。 例如在激光的能量总值偏离规定值的情况下，发生所形成的孔直径产 生异常、无法开孔、激光从孔中穿透、及加工屑残留这样的问题。因 此，在现有的激光加工装置中，提取从激光振荡器射出的激光的一部 分，同时，将提取的激光变换为电气参数并由积分电路进行积分，基 于该积分值计算照射在1个加工孔上的激光的能量。而且，在计算出 的能量总值与预先设定的规定值不同的情况下，停止激光加工、或追 加发射的脉冲数。

另外，在专利文献1所述的激光加工装置中，为了准确地计算 照射在印刷基板上的激光的能量，而针对每1发脉冲激光计算照射在 印刷基板上的激光的能量。另外，在与脉冲激光的振荡频率同步的定 时，将积分电路重置，测定各脉冲激光的脉冲能量。

专利文献1：日本特开平11-261146号公报

发明内容

但是，在上述现有技术中，即使将积分电路重置，也无法对激 光功率测定用传感器进行校正。因此，存在下述问题，即，在伴随着 激光的射出，激光功率测定用传感器中产生温度漂移的情况下，激光 功率测定用传感器无法准确地测定激光功率。

本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，得到一种激 光加工控制装置及激光加工装置，其可以准确地测定激光的激光功 率，并射出具有准确的能量的激光。

为了解决上述课题，达到目的，本发明提供一种激光加工控制 装置，其对从激光振荡器向作为激光加工对象的被加工物照射的脉冲 激光进行射出控制，其特征在于，具有：激光功率测定部，其测定所 述脉冲激光的激光功率；偏移量计算部，其基于在没有射出所述脉冲 激光的定时由所述激光功率测定部输出的输出值，计算由所述激光功 率测定部测定的激光功率的偏移量；偏移量输出部，其将由所述偏移 量计算部计算出的偏移量向所述激光功率测定部输出；能量计算部， 其基于由所述激光功率测定部使用所述偏移量而测定出的激光功率， 针对每个激光照射位置计算照射在所述被加工物上的脉冲激光的能 量的总值；以及控制部，其基于由所述能量计算部计算出的总值，对 所述激光振荡器射出的脉冲激光进行射出控制。

发明的效果

根据本发明，由于基于没有射出脉冲激光的定时的激光功率的 输出值，计算激光功率的偏移量，所以具有下述效果，即，可以准确 地测定激光的激光功率，并射出具有准确的能量的激光。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的激光加工装置的概略 构成的图。

图2是表示实施方式1所涉及的积分信号计算装置的结构的图。

图3是表示实施方式1所涉及的激光加工控制装置的结构的功 能框图。

图4是用于说明在红外线传感器中没有发生温度漂移的情况下 的积分信号的图。

图5是用于说明在红外线传感器中发生温度漂移的情况下的积 分信号的图。

图6是表示偏移电压的计算处理流程的流程图。

图7是用于说明偏移电压的计算处理流程的图。

图8是用于说明进行脉冲射出数的校正动作的定时的图。

图9是用于说明在脉冲射出和脉冲射出的间隔中进行校正动作 的情况下的激光脉冲的图。

图10是表示实施方式2所涉及的积分信号测定装置的结构的 图。

图11是表示实施方式2所涉及的激光加工控制装置的结构的功 能框图。

图12是表示积分信号的计算处理流程的流程图。

具体实施方式

下面，根据附图详细说明本发明所涉及的激光加工控制装置及 激光加工装置的实施方式。此外，本发明并不限定于该实施方式。

实施方式1