[发明专利]激光加工控制装置及激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工控制装置，其对从激光振荡器向作为激光加工 对象的被加工物照射的脉冲激光进行射出控制，

其特征在于，具有：

激光功率测定部，其测定所述脉冲激光的激光功率；

偏移量计算部，其基于在没有射出所述脉冲激光的时间内的定 时由所述激光功率测定部输出的输出值，计算由所述激光功率测定部 测定的激光功率的偏移量；

偏移量输出部，其将由所述偏移量计算部计算出的偏移量向所 述激光功率测定部输出；

能量计算部，其基于由所述激光功率测定部使用所述偏移量而 测定出的激光功率，针对每个激光照射位置计算照射在所述被加工物 上的脉冲激光的能量的总值；以及

控制部，其基于由所述能量计算部计算出的总值，对所述激光 振荡器射出的脉冲激光进行射出控制。

2.一种激光加工控制装置，其对从激光振荡器向作为激光加工 对象的被加工物照射的脉冲激光进行射出控制，

其特征在于，具有：

激光功率测定部，其测定所述脉冲激光的激光功率；

偏移量计算部，其基于在没有射出所述脉冲激光的时间内的定 时由所述激光功率测定部输出的输出值，计算由所述激光功率测定部 测定的激光功率的偏移量；

能量计算部，其基于由所述激光功率测定部测定出的激光功率、 和由所述偏移量计算部计算出的偏移量，针对每个激光照射位置计算 照射在所述被加工物上的脉冲激光的能量的总值；以及

控制部，其基于由所述能量计算部计算出的总值，对所述激光 振荡器射出的脉冲激光进行射出控制。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工控制装置，其特征在于，

所述偏移量计算部在所述被加工物向规定的加工位置移动的期 间内，计算所述激光功率的偏移量。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工控制装置，其特征在于，

所述偏移量计算部在所述脉冲激光的脉冲射出间隔内，计算所 述激光功率的偏移量。

5.一种激光加工装置，其对从激光振荡器向被加工物照射的脉 冲激光进行射出控制，对所述被加工物进行激光加工，

其特征在于，具有：

激光振荡器，其射出所述脉冲激光；以及

激光加工控制装置，其对所述脉冲激光进行射出控制，

所述激光加工控制装置具有：

激光功率测定部，其测定所述脉冲激光的激光功率；

偏移量计算部，其基于在没有射出所述脉冲激光的时间内的定 时由所述激光功率测定部输出的输出值，计算由所述激光功率测定部 测定的激光功率的偏移量；

偏移量输出部，其将由所述偏移量计算部计算出的偏移量向所 述激光功率测定部输出；

能量计算部，其基于由所述激光功率测定部使用所述偏移量而 测定出的激光功率，针对每个激光照射位置计算照射在所述被加工物 上的脉冲激光的能量的总值；以及

控制部，其基于由所述能量计算部计算出的总值，对所述激光 振荡器射出的脉冲激光进行射出控制。

6.一种激光加工装置，其对从激光振荡器向被加工物照射的脉 冲激光进行射出控制，对所述被加工物进行激光加工，

其特征在于，具有：

激光振荡器，其射出所述脉冲激光；以及

激光加工控制装置，其对所述脉冲激光进行射出控制，

所述激光加工控制装置具有：

激光功率测定部，其测定所述脉冲激光的激光功率；

偏移量计算部，其基于在没有射出所述脉冲激光的时间内的定 时由所述激光功率测定部输出的输出值，计算由所述激光功率测定部 测定的激光功率的偏移量；

能量计算部，其基于由所述激光功率测定部测定出的激光功率、 和由所述偏移量计算部计算出的偏移量，针对每个激光照射位置计算 照射在所述被加工物上的脉冲激光的能量的总值；以及

控制部，其基于由所述能量计算部计算出的总值，对所述激光 振荡器射出的脉冲激光进行射出控制。