[发明专利]半导体测试中精确计算等待时间的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试领域，特别涉及一种硅片级别的测试方法。

背景技术

在晶圆制造完成之后，测试是非常重要的步骤。测试是晶圆生产过程的成绩单。在测试过程中，每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。晶圆测试也就是芯片测试或晶圆电测。

在半导体测试业界，涉及到7816协议的测试很多，7816协议虽然简单的只是发送指令和接收指令，但是在收和发之间的等待时间却都不一样，这种不确定因素给测试带来了比较大的麻烦，每次需要用各种方法去找到这个精确的时间点。

现有的7816协议等待时间计算方法很多，一般都有线性扫描，二分法，match的方法，可以说百花齐放，各有优劣。

1，线性扫描是最慢的，最直接的方法。

2，二分法需要写一些复杂的算法，在编写程序上有一定难度。

3，Match的方法不一定每种测试机都具备这种模块。

而现有的测试机中的模式失败记录模块(PFM，pattern failure memory)是记录实际芯片输出向量和期望向量区别的资源，而且几乎所有的测试机都有这种资源。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种半导体测试中精确计算等待时间的方法，它可以简单而且精确的完成发送指令和接收指令之间等待时间的计算。

本发明为解决以上技术问题，提供了一种半导体测试中精确计算等待时间的方法；包括以下步骤：

步骤一、在测试向量中始终比较高电平，记录变为低电平的时间点A；

步骤二、然后在测试向量中始终比较低电平，记录高电平的开始的时间点B；

步骤三、用时间点A减去时间点B得到等待时间值。

本发明的有益效果在于：可以得到精确的测试结果，大大提高了纠错程序的效率。时间计算简单的方法就是只要知道开始时间和结束时间，两者相减就是即得到等待时间。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明实施例所述方法第一步的示意图；

图2是本发明实施例所述方法第二步的示意图；

图3是本发明实施例所述方法的流程图。

具体实施方式

7816协议的一个特点是发送完指令后会持续一段高电平，等到下一个低电平到来，表示着接受指令的开始bit位，现在就利用了这个特点采用测试机中的模式失败记录模块PFM资源记录下高电平的起始点A和结束点B，然后A-B就可以精确的得到了这个等待的时间。

此方法只要两个步骤就可以得到精确的测试结果，可以说大大提高了Debug程序的效率。现有的测试机中模式失败记录模块PFM(pattern failure memory)是记录实际芯片输出向量和期望向量区别的资源，而且几乎所有的测试机都有这种资源，这就符合了适用范围广的前提，时间计算最简单的方法就是只要知道开始时间和结束时间，两者相减就是答案。

所以，就往上述两个方面去考虑如何利用模式失败记录模块PFM记录下开始时间和结束时间，因为根据7816协议的特点，一个指令结束后会变为高电平，直到变为低电平则表示接收指令的起始位开始，在测试向量中可以比较一个很长的高电平，利用模式失败记录模块PFM记录下第一个变为低电平的A_cycle数，然后在测试向量中比较一个很长的低电平，则记录下了第一个变为高电平的B_cycle数，这样A_cycle-B_cycle＝精确的等待时间。

在测试平台上，采用以下的方法进行7816协议时间精确计算的测试：

如图1所示，第一步，在测试向量中始终比较高电平，利用模式失败记录模块PFM记录下变为低电平的时间点A。可以得到时间点A的cycle数，所谓cycle数就是这面这段波形在整个测试向量里的时间点，因为一直比较高电平，这里出现的低电平和高电平不符，所以模式失败记录模块PFM就记录下了这点的时间点为A(红色的先高后低的波形为实际芯片的输出波形)。

如图2所示，第二步，在测试向量中始终比较低电平，利用模式失败记录模块PFM记录下高电平的开始的时间点B，可以得到时间点B的cycle数，因为一直比较低电平，这里出现的高电平和低电平不符，模式失败记录模块PFM记录下了这点的时间点为B。，如下图所示：

第三步，用时间点A减去时间点B得到等待时间值。

本发明并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式的描述旨在于为了描述和说明本发明涉及的技术方案。基于本发明启示的显而易见的变换或替代也应当被认为落入本发明的保护范围。以上的具体实施方式用来揭示本发明的最佳实施方法，以使得本领域的普通技术人员能够应用本发明的多种实施方式以及多种替代方式来达到本发明的目的。