[发明专利]晶体管的版图结构无效
申请号: | 200910201348.6 | 申请日: | 2009-12-17 |
公开(公告)号: | CN102104066A | 公开(公告)日: | 2011-06-22 |
发明(设计)人: | 赵芳芳 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体管 版图 结构 | ||
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域,特别是涉及一种晶体管的版图结构。
背景技术
随着半导体器件制造技术的飞速发展,半导体器件已经具有深亚微米结构,集成电路中包含巨大数量的半导体元件。这就要求在设计晶体管的版图时,在不影响晶体管性能的前提下,要尽量减小晶体管的占用尺寸,以提高半导体器件的集成度。
请参考图1,其为现有技术的晶体管的版图结构的平面图。其中,晶体管为金属氧化物半导体场效应管(MOS FET),所述晶体管的版图结构10包括:有源区11、栅极区12、源区13以及漏区14,所述栅极区12位于有源区11上,所述栅极区12将源区13和漏区14分隔开,该栅极区12采用两边超出所述有源区11的双边缘结构,被所述栅极区12覆盖的有源区部分即为沟道区。
所述晶体管工作时,由栅极区12的电压控制所述沟道区是否反型。当所述漏区14施加恒定电压,栅极区12施加的电压大于阈值电压时,将在源区13和漏区14之间形成导电通道,电流会由源区13流向漏区14。
沟道长度和沟道宽度是晶体管非常重要的参数。在图1中,晶体管的沟道长度定义为源区13到漏区14的最小距离,晶体管的沟道宽度定义为源区13或漏区14与栅极区12相交线的长度;晶体管的栅极区长度15定义为源区13到漏区14方向的栅极区15的长度,晶体管的栅极区宽度16定义为与所述栅极区长度15垂直方向的长度。
如图1所示,晶体管的栅极区12的栅极区长度15较长,而栅极区12的栅极区宽度16较窄。然而在很多电路设计过程中,晶体管的摆放是受限制的,对于图1所示的晶体管而言,就会占用大量的从源区13至漏区14(栅极区长度15)方向的面积,对特定的摆放要求来说就意味着要增加整个集成电路的面积,这就导致无法提高半导体器件的集成度,无法降低生产成本。
因此,在不影响晶体管的性能的前提下,提供一种可以减少晶体管在栅极区长度方向的占用面积的版图结构,以提高晶体管的集成度,降低生产成本,是非常必要的。
发明内容
本发明提供一种晶体管的版图结构,以减小晶体管在栅极区长度方向的占用面积,降低生产成本。
为解决上述技术问题,本发明提供一种晶体管的版图结构,包括:有源区、栅极区、源区以及漏区,所述栅极区位于所述有源区上,所述栅极区将所述源区和所述漏区分隔开,所述有源区为弯曲结构。
可选的,所述有源区呈倒“L”形,所述倒“L”形的横段末端为所述源区,所述倒“L”形的竖段末端为所述漏区。
可选的,所述有源区为“U”形结构,所述“U”形的一端为所述源区,所述“U”形的另一端为所述漏区。
可选的,所述有源区为蛇形结构,所述蛇形的一端为所述源区,所述蛇形的另一端为所述漏区。
可选的,所述晶体管的版图结构还包括位于所述栅极区上的栅接触区。
可选的,所述晶体管的版图结构还包括位于所述源区上的源接触区。
可选的,所述晶体管的版图结构还包括位于所述漏区上的漏接触区。
与现有技术相比,本发明提供的晶体管的版图结构具有以下优点:
本发明的晶体管的版图结构的有源区为弯曲结构,所述弯曲的有源区在不减小沟道长度的前提下,减少了晶体管在栅极区长度方向的占用面积,提高了晶体管的集成度,降低了生产成本;并且,由于所述晶体管的版图结构的有源区为具有拐角的弯曲结构,晶体管的沟道在拐角处的有效宽度变大,使得沟道的平均宽长比变大,进而使得电流增大,提高了晶体管的性能。
附图说明
图1为现有技术的晶体管的版图结构的平面图;
图2为本发明第一实施例提供的晶体管的版图结构的平面图;
图3为本发明第二实施例提供的晶体管的版图结构的平面图;
图4为本发明第三实施例提供的晶体管的版图结构的平面图。
具体实施方式
在背景技术中已经提及,在很多电路设计过程中,晶体管的摆放是受限制的,而对于栅极区长度较长且栅极区宽度较窄的晶体管而言,这会占用大量的从源区至漏区(栅极区长度)方向的面积,这也就意味着要增加整个集成电路的面积,进而导致无法提高半导体器件的集成度,无法降低生产成本。
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