[发明专利]滚轮装置驱动机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种为传输装置提供动力的驱动机构，尤其涉及一种驱动真空 腔内的用于传输基片的滚轮装置的滚轮装置驱动机构。

背景技术

玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED) 面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀 覆薄膜晶体管，这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤，包括如 化学气相沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅 射沉积或蚀刻制程。用于处理玻璃基材的系统可包括一或多个制程处理室，以 进行前述所述制程。目前趋势面板加工朝向大面积基材尺寸发展，以使基材上 可形成更多显示器、或制造更大型的显示器以及更大型的太阳能面板。

由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的 空间环境中进行，如有机发光二极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机 物质，如有空气、水汽等存在的话极易与有机蒸镀材料发生反应进而改变基材 上的沉积物成分，影响其发光效应；再如，磁控溅射沉积制程过程中，等离子 体辉光放电后相互撞击空间内惰性气体使离子化程度达到雪崩状态，从而大面 积、大范围的撞击金属靶材，金属原子或/和原子团脱离靶材在磁力引导下沉积 到基底上，然此过程如密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度， 同时空气中的氧气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄 膜受到影响；类此种种玻璃等基材的镀膜、覆膜制程，都必须要保证整个制程 的真空系统的绝对可靠性。这样，在此类制程中，真空传动就凸显了重要意义， 真空传动的设计程度往往考验着整个制程的真空系统的可靠性。

真空环境的获得全赖于能够密封，针对不同真空室的工作要求，在真空传 动系统中，动力源一般由外部传到内部这样首先就要解决的是传动系统与真空 室间的密封，同时基于制造的要求必须保证所有传动的执行机构都能同步运动， 而现有技术中，对真空腔的动力传动大都采用动密封传动，以往的动密封传动 一方面动密封不容易实现，对于元部件的要求较高，另一方面动密封存在不稳 定性，多次重复动作容易导致密封元器件的坏损影响密封要求。在真空腔体内 的传输采用大量的滚轮、滚珠顶杆等，一方面滚轮与被传输器件接触会产生避 免不了的磨损，另一方面大量采用大量的滚轮、滚珠顶杆也会给真空环境带来 污染。腔体内部的同步联系，由于链轮与链条或/和同步带轮与同步带间的相对 运动以及直接的物理接触会使来自驱动装置的污染源增多。

因此，急需一种密封效果好、不易损坏、高清洁度、超静音的非接触式的 滚轮装置驱动机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种密封效果好、不易损坏、高清洁度、超静音的 采用非接触式传输动力的滚轮装置驱动机构。

为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种滚轮装置驱动机构， 适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，所述滚轮装置驱 动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装 孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起， 所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所 述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所 述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚 轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环 套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动 所述外磁环套旋转，所述外磁环套带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动 所述滚轮装置的滚轮轴旋转。

较佳地，所述外磁环套上开设有外磁铁安装槽，所述内磁环套于所述外磁 铁安装槽相应的位置上开设有内磁铁安装槽，所述永磁体分别安装于所述外磁 铁安装槽和内磁铁安装槽内。采用开设外磁铁安装槽和内磁铁安装槽并在其内 安装永磁体的方式使所述外磁环套和内磁环套之间建立磁性连接，使本发明滚 轮装置驱动机构的结构简单且制造成本低。