[发明专利]滚轮装置驱动机构

权利要求书

1.一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的 滚轮装置，其特征在于：所述滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置 及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安 装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、 外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿 过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接， 所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起 的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置 驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所述外磁环套 带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动所述滚轮装置的滚轮轴旋转。

2.如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：所述外磁环套上开设 有外磁铁安装槽，所述内磁环套于所述外磁铁安装槽相应的位置上开设有内磁 铁安装槽，所述永磁体分别安装于所述外磁铁安装槽和内磁铁安装槽内。

3.如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：所述驱动装置包括第 一链传动轮、第二链传动轮、链条、驱动传动轴、驱动齿轮及马达，所述链条 缠绕于所述第一链传动轮和第二链传动轮上且与所述第一链传动轮和第二链传 动轮相啮合，所述第一链传动轮固定于所述马达的输出轴上，所述驱动传动轴 枢接于所述真空腔的外壁上，所述第二链传动轮与所述驱动齿轮同轴固定于所 述驱动传动轴上，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合。

4.如权利要求3所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：所述驱动装置还包括 轴承座，所述轴承座固定于所述真空腔的外壁上，所述驱动传动轴与所述轴承 座枢接。

5.如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：所述滚轮装置还包括 支架及滚轮，所述支架安装于所述真空腔内的滚轮轴两侧，所述滚轮轴的一端 与所述内磁环套固定连接，所述滚轮轴的另一端依次穿过两所述滚轮并与所述 支架枢接，被同一所述滚轮轴穿过的两所述滚轮之间形成基片传输区。

6.如权利要求5所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：所述滚轮开设有台阶， 被同一所述滚轮轴穿过的两所述滚轮的台阶相对设置并形成所述基片传输区。

7.如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于：还包括密封圈，所述 密封圈连接于所述密封盖与所述安装孔之间。