[发明专利]镁合金表面磁控溅射铝/钛复合涂层及其工艺方法无效
| 申请号: | 200910191154.2 | 申请日: | 2009-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN101696488A | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
| 发明(设计)人: | 曾荣昌;陈君;杨栋华 | 申请(专利权)人: | 重庆理工大学 |
| 主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 李晓兵;李玉盛 |
| 地址: | 400054 重*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 镁合金 表面 磁控溅射 复合 涂层 及其 工艺 方法 | ||
技术领域
本发明涉及到一种镁合金表面防腐处理技术,具体地说,是一种镁合金表面铝/钛复合涂层及其制备工艺方法,尤其是可用于航空航天、汽车以及家电等3C产品或人体植入材料等的,具有腐蚀防护作用的铝/钛(Al/Ti)复合涂层及工艺。
背景技术
镁合金是一种最轻的工程结构金属材料,具有密度小、比强度高、良好的导热、导电能力和电磁屏蔽性能、减振和阻尼性能,且容易回收利用等特点。镁合金可应用于汽车、航空航天以及3C产品(家用电器、计算机、通信电子器件)等领域。但是,镁的化学性质活泼,耐蚀、耐磨性能较差,通常需经过表面改性处理以提高其耐腐蚀、耐磨性能。
表面改性是改善镁合金耐蚀性的最有效的途径之一。铝、钛都具有良好的耐腐蚀性能,可以用来提高镁合金的耐蚀性。如名称为“便携式电子装置外壳及其制造方法”、专利号为ZL 200410052067.6的发明专利所公开的技术内容,该外壳包括镁合金基材及氮化铝钛层,其中该氮化铝钛层覆盖于镁合金基材表面;该外壳的制造方法,包括以下步骤:提供镁合金基材,将该镁合金基材放入以铝金属及钛金属为溅射靶材的真空镀膜室内,对该真空镀膜室内抽真空,向真空室通入少量氮气与惰性气体的混合气,加热镁合金后,对其进行溅射得到便携式电子装置的外壳;该便携式电子装置的外壳具有很强的硬度及耐磨性。研究表明,离子注入钛也可以提高镁合金的耐腐蚀性能;然而,这种膜非常薄,对提高耐蚀性的作用有限。较厚的钛膜可能会使镁合金基体具有更好的耐腐蚀性,实际使用中可能需要在镁合金基体上形成一层较厚的钛膜。然而,根据镁钛二元相图,两者之间溶解度极小,也不能形成金属间化合物。因此,镁合金与钛合金几乎不可能直接扩散相结合。由于镁-铝、铝-钛之间都有较高的溶解度;在镁和钛之间加入一个的中间过渡Al层,则可以与基体形成三明治结构。所以,可以通过采用磁控溅射方法在镁合金表面喷涂Al/Ti复合涂层,然后通过热扩散提高涂层的结合力,以获得较厚的、结合优良的、具有更好耐腐蚀性的涂层。
发明内容
本发明针对现有技术对镁合金表面防腐处理技术所得到的金属涂层(钛膜等)非常薄、与基体结合力较差、耐腐蚀、耐磨性不高等不足,提出一种镁合金表面形成铝/钛复合涂层及其制备工艺方法,具体采用磁控溅射方法形成一种具有三明治结构的Al/Ti复合涂层,然后进行低温扩散处理,以提高复合膜涂层与基体的结合力、提高镁合金的耐腐蚀性,以满足镁合金表面防腐技术的需要。
本发明的技术方案:镁合金表面的铝/钛复合涂层,其特征在于:在镁合金基体上,设置有铝涂层和钛涂层,钛涂层在外层,中间是铝涂层,铝涂层和钛涂层紧密附着在镁合金基体上。
一种获得本发明铝/钛复合涂层的制备工艺方法,其特征在于:其工艺流程为:镁合金基体打磨-前处理清洗-磁控溅射Al膜-磁控溅射Ti膜-低温加热扩散。
该工艺的具体工艺参数为:
磁控溅射铝膜参数:溅射电压:240-320V;电流:0.70-1.30A;时间:0.3-2.0h。
磁控溅射钛膜参数:溅射电压:240-320V;电流:0.70-1.3A;时间:2.0-10h。
热扩散工艺:温度:180-260℃;保温时间:4-16h。
采用本发明的磁控溅射和低温热扩散处理工艺,在镁合金部件表面可获得具有优良结合力和耐腐蚀、耐磨性能的铝/钛复合涂层,涂层与基体形成了一种三明治结构。
附图说明
图1为本发明实施案例的Al/Ti复合涂层低温热扩散处理后SEM照片。
图2为本发明实施案例的Al/Ti复合涂层低温热扩散处理后截面方向的EDS线扫描曲线。
具体实施方式
本发明的镁合金表面的铝/钛复合涂层,其特征在于:在镁合金基体上,设置有铝涂层和钛涂层,钛涂层在外层,中间是铝涂层,钛涂层通过铝涂层紧密附着在镁合金基体上。
一种获得本发明铝/钛复合涂层的制备工艺方法,其特征在于:首先对镁合金样品表面进行打磨,以除去表面毛刺、飞边等,再对镁合金样品进行前处理清洗,以除去镁合金样品表面的油脂、脂肪类物质,并通过酸洗对其表面活化处理以去除表面上的氧化物,酸性活化采用的是氢氟酸、磷酸、稀盐酸和乙二醇等,或者是其他合适的酸性物质;本发明公开一种具体的前处理清洗工艺:碱洗除油-水清洗-酸洗活化-水清洗-丙酮清洗-干燥;在酸洗表面活化处理后,用丙酮进一步清洗除油污,再热风干燥;然后将镁合金放入磁控溅射腔中,进行磁控溅射处理:首先溅射铝涂层,选定如下工艺参数为溅射电压:240-320V;电流:0.70-1.30A;时间:0.3-2.0h。
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