[发明专利]镁合金表面磁控溅射铝/钛复合涂层及其工艺方法无效
| 申请号: | 200910191154.2 | 申请日: | 2009-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN101696488A | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
| 发明(设计)人: | 曾荣昌;陈君;杨栋华 | 申请(专利权)人: | 重庆理工大学 |
| 主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 李晓兵;李玉盛 |
| 地址: | 400054 重*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 镁合金 表面 磁控溅射 复合 涂层 及其 工艺 方法 | ||
1.一种镁合金表面磁控溅射铝/钛复合涂层的制作处理方法,其特征在于包括如下步骤:
1)对镁合金样品表面进行打磨,以除去表面毛刺、飞边;
2)对镁合金样品进行前处理清洗,以除去镁合金样品表面的油脂类物质,并通过酸洗对其表面活化处理以除去表面上的氧化物,最后用丙酮进一步清洗除油污,再热风干燥;
3)将镁合金样品放入磁控溅射腔中,进行磁控溅射处理;
I、首先溅射铝涂层,工艺参数为:溅射电压240-320V;电流0.70-1.30A;时间0.3-2.0h;
II、然后溅射钛涂层,工艺参数为:溅射电压240-320V;电流0.70-1.30A;时间2.0-10h;
4)将镁合金样品放入加热炉进行热扩散处理,加热温度:180-260℃;保温时间:4-16h。
2.一种根据权利要求1所述制作处理方法获得的镁合金表面的铝/钛复合涂层,其特征在于:在镁合金基体上,设置有铝涂层和钛涂层,钛涂层在外层,中间是铝涂层,钛涂层通过铝涂层紧密附着在镁合金基体上,形成一种三明治结构。
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