[发明专利]镁合金表面磁控溅射铝/钛复合涂层及其工艺方法无效

专利信息
申请号: 200910191154.2 申请日: 2009-10-19
公开(公告)号: CN101696488A 公开(公告)日: 2010-04-21
发明(设计)人: 曾荣昌;陈君;杨栋华 申请(专利权)人: 重庆理工大学
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/35
代理公司: 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 代理人: 李晓兵;李玉盛
地址: 400054 重*** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 镁合金 表面 磁控溅射 复合 涂层 及其 工艺 方法
【权利要求书】:

1.一种镁合金表面磁控溅射铝/钛复合涂层的制作处理方法,其特征在于包括如下步骤:

1)对镁合金样品表面进行打磨,以除去表面毛刺、飞边;

2)对镁合金样品进行前处理清洗,以除去镁合金样品表面的油脂类物质,并通过酸洗对其表面活化处理以除去表面上的氧化物,最后用丙酮进一步清洗除油污,再热风干燥;

3)将镁合金样品放入磁控溅射腔中,进行磁控溅射处理;

I、首先溅射铝涂层,工艺参数为:溅射电压240-320V;电流0.70-1.30A;时间0.3-2.0h;

II、然后溅射钛涂层,工艺参数为:溅射电压240-320V;电流0.70-1.30A;时间2.0-10h;

4)将镁合金样品放入加热炉进行热扩散处理,加热温度:180-260℃;保温时间:4-16h。

2.一种根据权利要求1所述制作处理方法获得的镁合金表面的铝/钛复合涂层,其特征在于:在镁合金基体上,设置有铝涂层和钛涂层,钛涂层在外层,中间是铝涂层,钛涂层通过铝涂层紧密附着在镁合金基体上,形成一种三明治结构。

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