[发明专利]透射电镜微栅有效

专利信息
申请号: 200910189914.6 申请日: 2009-08-28
公开(公告)号: CN102005357A 公开(公告)日: 2011-04-06
发明(设计)人: 张丽娜;冯辰;姜开利;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: H01J37/02 分类号: H01J37/02;H01J37/26
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摘要:
搜索关键词: 透射 电镜微栅
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种透射电镜微栅,尤其涉及一种可用于加热样品的透射电镜微栅。

背景技术

随着材料技术尤其是纳米材料技术的发展,常需要观测材料样品在不同温度下的结构特征。譬如,金属材料在纳米级时,其熔点会随着粒径的变化而变化,即该金属材料在纳米级时其在不同温度下的结构特征有所不同。再譬如,许多催化剂在不同温度下的活性有所差别,即该催化剂在不同温度下的结构有所不同。因此,在对所述材料样品进行结构表征时,不仅需要观测该材料在室温下的结构,还需要观察所述材料样品在不同温度下的结构。即在观察过程中需要对该材料样品进行加热。

透射电子显微镜是表征材料样品结构的一种重要工具,通过透射电子显微镜能够观测到该材料样品的高分辨率的透射电镜图像。在该透射电子显微镜中,所述材料样品一般放置在一微栅表面。在给所述材料样品加热时,将所述微栅放置于一加热炉中或在该微栅周围设置一加热棒,利用该加热炉对该材料样品进行加热。可以理解,在给所述材料样品加热的过程中,所述微栅也同时被加热。

在现有技术中,应用于透射电子显微镜的微栅通常是在铜网或镍网等金属网格上覆盖一层多孔有机膜,再在所述有机膜上蒸镀一层非晶碳膜制成的。然而,现有的透射电子显微镜的热稳定性不够好,由于所述金属网格、有机膜及碳膜的热容与热膨胀系数不一样,该栅网在受热时,所述碳膜、有机膜与金属网格的形变会不一致,从而造成放置在该微栅表面的材料样品产生漂移。即该材料样品在受热过程中,会相对所述透射电子显微镜产生移动。如镍的膨胀系数远大于非晶碳膜,其在受热时的形变大于碳膜,从而导致放置其上的非晶碳膜移动,从而使吸附或放置在碳膜表面的材料样品移动。然而,由于该透射电子显微镜对材料样品的移动非常敏感,所述材料样品在受热时产生的漂移,将使所述透射电子显微镜难以得到高清晰的透射电镜图像。

发明内容

因此,确有必要提供一种具有较好的热稳定性的透射电镜微栅。

一种透射电镜微栅,其包括一网格、一碳纳米管膜状结构及至少两个电极。所述碳纳米管膜状结构设置在该网格表面。所述至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管,该多个碳纳米管形成多个微孔。

一种透射电镜微栅,其包括一网格、一碳纳米管膜状结构及两个电极。所述碳纳米管膜状结构设置在该网格表面。所述两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。该碳纳米管膜状结构包括多个碳纳米管基本垂直地交叉设置,该多个碳纳米管形成多个微孔。

相较于现有技术,所述透射电镜微栅利用一碳纳米管膜状结构承载及加热放置在其表面的待观察的材料样品。该碳纳米管膜状结构具有较高的电热转换率且直接加热该材料样品无需加热整个透射电镜微栅,即无需加热网格,因此在加热过程中产生的热量较少;同时该碳纳米管膜状结构具有较小的热膨胀系数。因此,在加热材料样品时,由于该碳纳米管膜状结构产生的热量较少且具有较小的热膨胀系数,其因受热而产生的形变较小,因此,能够避免放置在该碳纳米管膜状结构表面的材料样品产生漂移。

附图说明

图1为本发明实施例透射电镜微栅的结构示意图。

图2为图1中透射电镜微栅沿II-II线的剖视图。

图3为图1中透射电镜微栅中用作碳纳米管膜状结构的碳纳米管絮化膜的扫描电镜照片。

图4为图1中透射电镜微栅中用作碳纳米管膜状结构的碳纳米管碾压膜的扫描电镜照片。

图5为图1中透射电镜微栅中用作碳纳米管膜状结构的碳纳米管拉膜的扫描电镜照片。

图6为本发明实施例透射电镜微栅的扫描电镜照片。

图7为图6中的透射电镜微栅中的碳纳米管膜状结构的透射电镜照片。

图8为承载样品的碳纳米管膜局部放大示意图。

图9为应用本发明实施例透射电镜微栅观察纳米金颗粒的高分辨透射电镜照片。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步的详细说明。

请参阅图1及图2,本发明实施例提供一种透射电镜微栅100,其包括一网格110、一碳纳米管膜状结构130及两个电极120。该碳纳米管膜状结构130设置在该网格110的一表面。所述两个电极120间隔设置且分别与所述碳纳米管膜状结构130电连接。

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