[发明专利]透射电镜微栅有效
| 申请号： | 200910189914.6 | 申请日： | 2009-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102005357A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张丽娜;冯辰;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清华园1*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透射 电镜微栅 | ||
1.一种透射电镜微栅，其包括一网格，其特征在于，该透射电镜微栅还包括：一碳纳米管膜状结构，设置在该网格表面，该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管，该多个碳纳米管形成多个微孔；及
至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。
2.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格表面具有一绝缘层，该绝缘层的材料为绝缘耐热材料。
3.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格的材料为绝缘耐热材料。
4.如权利要求2或3所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述绝缘耐热材料包括二氧化硅、氧化硅、氮化硅、陶瓷、石英及玻璃中的一种或任意组合。
5.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格的热膨胀系数绝对值小于3。
6.如权利要求5所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格为由陶瓷制成的栅网结构。
7.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格包括至少一个通孔，该通孔的孔径在1微米～3毫米之间。
8.如权利要求7所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格包括多个通孔，该通孔的孔径在80微米～100微米之间。
9.如权利要求7或8所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构通过所述网格至少部分悬空设置。
10.如权利要求7所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构覆盖所述网格的至少一个通孔，所述碳纳米管膜状结构在覆盖通孔的位置悬空设置。
11.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构的厚度小于100纳米。
12.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构中的微孔的孔径在1纳米～1微米之间。
13.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构包括至少一碳纳米管膜，该碳纳米管膜包括多个碳纳米管基本相互平行，且平行于碳纳米管膜的表面。
14.如权利要求13所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜包括多个碳纳米管通过范德华力首尾相连，且沿同一方向择优取向排列。
15.如权利要求13所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构为一碳纳米管膜，所述两个电极间隔设置在碳纳米管膜的两端，所述碳纳米管膜中的多个碳纳米管的轴向基本沿一个电极向另一个电极延伸。
16.如权利要求13所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜状结构包括多个碳纳米管膜层叠设置。
17.如权利要求16所述的透射电镜微栅，其特征在于，相邻碳纳米管膜中的碳纳米管基本垂直地交叉设置。
18.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述两个电极分别设置在该碳纳米管膜状结构相对的两端。
19.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述网格为圆形，两个电极为弧形，且设置在网格边缘。
20.一种透射电镜微栅，其包括一网格，其特征在于，该透射电镜微栅还包括：
一碳纳米管膜状结构，设置在该网格表面；
该碳纳米管膜状结构包括多个碳纳米管基本垂直地交叉设置，该多个碳纳米管形成多个微孔；及
两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司，未经清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910189914.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：煤矿电子设备后备电源
- 下一篇：键帽的制造方法、按键及键盘
