[发明专利]薄板状工件的搬送装置

权利要求书

1.一种薄板状工件的搬送装置，该搬送装置装备在加工装置上，用于搬送薄板状工件，上述加工装置具有保持上述工件的保持装置、以及对保持在该保持装置上的工件实施预定加工的加工装置，上述薄板状工件的搬送装置的特征在于，

该薄板状工件的搬送装置至少包括：

吸附衬垫，其具有吸附面，该吸附面与保持在上述保持装置上的上述工件的露出面接触；

负压产生通道，其从负压源一直设置到上述吸附衬垫，该负压源使上述吸附衬垫的上述吸附面产生吸附作用；以及

移动装置，其使上述吸附衬垫从上述保持装置移动至预定的搬送目的地，

上述吸附衬垫利用含有氟树脂的多孔材形成。

2.根据权利要求1所述的薄板状工件的搬送装置，其特征在于，

上述吸附衬垫的气孔率为30％～50％。

3.根据权利要求1或2所述的薄板状工件的搬送装置，其特征在于，

上述吸附衬垫的气孔的大小是直径为10～1000μm。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的薄板状工件的搬送装置，其特征在于，

上述吸附衬垫的、在JIS K 6253中规定的肖氏D硬度为40～80。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的薄板状工件的搬送装置，其特征在于，

上述氟树脂是聚三氟氯乙烯。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的薄板状工件的搬送装置，其特征在于，

上述加工装置所实施的上述加工是研削和/或研磨。