[发明专利]压印模具分离装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于平板显示元件用基板的压印(imprint)工艺，特别涉及一种可以简单地从基板分离与基板粘合着的压印用压印模具的压印模具分离装置。

背景技术

在平板显示元件用基板上形成各种功能性图案的方法中，一般采用压印(imprint)的作业方式，并且主要使用具有平面状的压印模具(stamp)的压印装置。

在此简单地说明一下所述压印装置的结构，所述装置包括腔室单元；支撑台，其设置于所述腔室单元的内侧，用于放置涂敷有药液(例如，蚀刻阻剂(etching resist))的基板；压印模具，其设置于所述支撑台上侧；以及固定件，其用于固定所述压印模具，使之能够与放置在所述支撑台上的基板粘合或者分离。

即，上述压印装置在利用固定件固定压印模具的上表面的状态下，通过常规方法(例如：降落)使压印模具与基板粘合，然后再利用所述固定件向上拉起与基板粘合的压印模具，并使该模具从基板脱离。上述压印装置通过这种方式进行压印工艺。

而且，从基板分离压印模具之前，通过常规的方法对粘合面之间的药液进行硬化。

因此，依序进行如上所述的粘合、硬化及分离工序时，可以在基板的药液层上通过压印方式简单地形成各种功能性图案。

就这种压印作业方式而言，在将基板和压印模具粘合并硬化的状态下，从基板稳定地分离压印模具的作业非常重要。即，在基板和压印模具的粘合面之间，由于存在药液的粘接力，因此分离压印模具时，会产生非常大的阻力。

最近，为了改善上述问题，提出了将压印模具的整个表面分成两部分之后，首先分离边缘部分(第一次分离)，然后再分离中间部分(第二次分离)的方法等。

但是，就这种分离方式而言，利用多个固定件抬起压印模具的边缘时，由于所述压印模具的整个面积中用多个固定件固定的部分(压印模具的边缘部分)和非固定的部分(压印模具的中间部分)的边界处容易发生阶梯状的折弯现象。

因此，在进行压印模具的分离工作时，压印模具的形状扭曲变形且容易损坏，从而压印模具的耐久性很快就会降低，并引发缩短寿命的问题。

进而，由于压印模具和基板的尺寸越大作用于粘合面之间的粘接力就越大，因此在进行大面积基板的压印作业时很难适当地处理上述问题。

而且，就在压印装置内同时进行粘合及分离的方式而言，由于分离工作需要消耗过多的时间，因此很难提高压印工艺的工作效率。

发明内容

本发明鉴于现有技术中存在的上述问题而作。

本发明的目的在于提供一种尤其能够在分离基板和压印模具的粘合状态时，减少压印模具的损坏程度，并可以简单地进行分离的压印模具分离装置。

为了实现上述目的，本发明的压印模具分离装置包括：

支撑台，其用于放置与压印模具粘合的基板；

多个第一分离用固定件，其设置于所述支撑台的上侧，用于将所述压印模具整个表面的边缘部分抬起，从而可以将所述边缘部分从基板分离开；

多个第二分离用固定件，其用于抬起所述压印模具整个表面的中间部分，从而可以将所述中间部分从基板分离开；

倾斜装置，其用于倾斜所述多个第一分离用固定件，从而可通过所述多个第一分离用固定件的倾斜动作来抬起所述压印模具的边缘部分。

如上所述的本发明由于具有能够分开分离压印模具的整个表面的多个第一分离用固定件和多个第二分离用固定件，可以简单地进行压印模具的分离工作。例如，本发明可在压印模具的整个表面中，首先抬起边缘部分并将其分离(第一次分离)后，再抬起压印模具的中间部分并将其分离开(第二次分离)。

特别是，本发明具有与多个第一分离用固定件对应的倾斜装置，因此例如在分离压印模具的边缘时，为了使作用于基板和压印模具之间粘合面的粘接力所致的分离阻力达到最小化，适当地倾斜所述多个第一分离用固定件，并向侧面拉所述压印模具的边缘部分，从而使所述边缘部分从基板剥离。本发明就是通过该方式进行分离工作。

而且，将压印模具的整个表面分成两部分来进行分离时，可以适当地倾斜多个第一分离用固定件，从而不会使边界处以阶梯状折弯，因而可以防止在进行分离工作时压印模具扭曲变形或者损坏引起的寿命缩短。

附图说明

图1是本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的整体结构示意图；

图2和图3是用于说明本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的多个第一分离用固定件和多个第二分离用固定件的较佳排列方式的附图；

图4是用于说明本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的流体喷射单元的详细结构及作用的附图；