[发明专利]压印模具分离装置

权利要求书

1.一种压印模具分离装置，其特征在于，包括：

支撑台，其用于放置与压印模具粘合的基板；

多个第一分离用固定件，其设置于所述支撑台的上侧，用于将所述压印模具整个表面的边缘部分抬起，并将所述边缘部分从基板分离开；

多个第二分离用固定件，其用于抬起所述压印模具整个表面的中间部分，并将所述中间部分从基板分离开；

倾斜装置，其用于倾斜所述多个第一分离用固定件，并通过所述多个第一分离用固定件的倾斜动作来抬起所述压印模具的边缘部分。

2.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述支撑台由板状真空吸盘构成，其具有与所述基板面积相对应的装载面。

3.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述多个第一分离用固定件和多个第二分离用固定件由多个真空吸附器构成，所述多个真空吸附器具有通过吸附力固定所述压印模具一表面的吸附单元。

4.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述多个第一分离用固定件被配置成其能够固定压印模具一表面的两个边缘或四个边缘处。

5.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述倾斜装置由具有输送单元块的输送单元构成，并通过所述输送单元块传递动力的同时，使所述多个第一分离用固定件倾斜，其中所述输送单元块能够线性运动。

6.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述倾斜装置由具有旋转轴的旋转单元构成，并通过所述旋转轴传递动力的同时，使所述多个第一分离用固定件倾斜，其中所述旋转轴能够旋转运动。

7.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述倾斜装置根据所述多个第一分离用固定件的倾斜动作从基板向侧面拉动所述压印模具的边缘部分，从而使所述边缘部分脱离基板。

8.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述压印模具分离装置还包括流体喷射单元，所述流体喷射单元由向所述基板和压印模具的粘合面之间喷射分离用流体的多个分离用喷嘴构成。

9.根据权利要求8所述的压印模具分离装置，其特征在于：

所述分离用流体为氮气或洁净干燥空气。