[发明专利]表面粘着力测量装置无效
申请号: | 200910172903.7 | 申请日: | 2009-09-03 |
公开(公告)号: | CN102004075A | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 卓家轩;颜荣俊;曾瑞修 | 申请(专利权)人: | 财团法人精密机械研究发展中心 |
主分类号: | G01N19/04 | 分类号: | G01N19/04 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 胡福恒 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 粘着 测量 装置 | ||
1.一种表面粘着力测量装置,其特征在于,它包括:
一机体;
一驱动机构,是组设在该机体上;
一承载座,是组设在该机体上且连结该驱动机构;
一浮动座,是活动地组设在该承载座上;
一气浮组件,是连结该浮动座且配置在该承载座内;以及
一测量器,是组设在该浮动座上且穿过该承载座,并随该浮动座而位移。
2.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该机体是一底座上配置若干个导柱,且各导柱穿过该承载座。
3.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,驱动机构是一马达结合一螺杆,该螺杆穿过该承载座,且该螺杆驱动该承载座位移。
4.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该承载座是一滑块结合一承载块,该滑块组设在该机体上,该测量器穿过该承载块,且该浮动座靠置在该承载块。
5.如权利要求4所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该气浮组件组设在该承载块内且结合该浮动座。
6.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其更包括一工件载具,该工件载具组设在该机体上且位于该测量器的位移路径上。
7.如权利要求6所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该工件载具具有一置物槽道。
8.如权利要求7所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该置物槽道具有渐缩状的槽道断面。
9.如权利要求6所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其更包括一平台组设在该工件载具上,且该平台相对位于该测量器的位移路径上。
10.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其更包括一行程侦测组件,其配置在该承载座及该浮动座之间。
11.如权利要求10所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该行程侦测组件包括一受侦测器及一传感器,该受侦测器及该传感器分别组设在该浮动座与该承载座上,且两者能够相对运动。
12.如权利要求1所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该测量器为一拉力计。
13.如权利要求1或12所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该测量器具有一探头,该探头是一探针穿过一定位块。
14.如权利要求13所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该探头的定位块具有一凹入构造的定位槽,且该探针穿过该定位槽。
15.如权利要求13所述的表面粘着力测量装置,其特征在于,其中,该探头的定位块为一平面构造的块体,且该探针穿过该块体。
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