[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而 与设置在腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与 泵口之间进行切断，在由设于缸筒的底盖和中间壁形成的第一活塞室 内可滑动地配置有第一活塞，在由设于所述缸筒的所述中间壁和上盖 形成的第二活塞室内可滑动地配置第二活塞，与所述阀芯连接的主轴 固定设置在所述第一活塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述 第二活塞的卡定部件，通过使所述第一活塞及所述第二活塞单独动作， 阶段性地调整所述阀芯的行程，其特征在于，

所述主轴在插通所述第二活塞室的部分的外周面上形成有调整螺 纹部，

所述卡定部件为与所述调整螺纹部螺合的行程调整部件，

包括相对所述主轴固定所述行程调整部件的固定部件，

在使所述第二活塞与所述上盖抵接的状态下将所述行程调整部件 拧紧于所述调整螺纹部直至与所述第二活塞碰触，通过止动螺钉将所 述行程调整部件相对于所述主轴固定，从而调整所述行程调整部件的 原点位置。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述第二活塞与上盖面接触。