[发明专利]工作台及其自动安装垫片的方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于对曝光基板进行光刻的设备和该设备的使用 方法，更具体地讲，涉及用于改进了的工作台及其自动安装垫片 的方法。

背景技术

传统上，印刷电路板(即PCB)在制造的过程中需要感光聚 合物涂层来定义电路，或者在电路印制好后需要用保护涂层对线 路进行保护并防止元件装配时电路短路。在该所述两种情形下， 均使用光聚合有机涂层。紫外线在PCB的制造过程中用于激活涂 层物质的聚合，即，固化光聚合物质。通常的做法是，基板又称 面板置于工作台上在紫外线曝光系统中曝光约数秒至一分钟。板 上曝光区域的物质将固化，而非曝光区域的物质不会固化。曝光 区域和非曝光区域由涤纶片或玻璃片上的光刻原图来定义，载有 光刻原图的片通常安装于曝光机的玻璃板上。

如果处理中的基板小于曝光设备中最大的图像面积，现有的 机器设备要求在工作台上人工安装与基板厚度相同的垫片。该垫 片主要用于在真空曝光时支撑安装原图的玻璃板的四周，以避免 玻璃板的破损或周边变形，从而产生较好的图像。人工安装垫片 引入了由微粒，比如固定垫片的胶带上的灰尘，侵入而引起的产 品瑕疵，极大地增加了安装时间，而且增加了人工安装错误的可 能性。

发明内容

本发明的主要目的之一是提供一种无需人工安装垫片的工作 台。

为实现上述目的，作为一个实施例，本发明的工作台包括： 一个上表面；位于所述上表面之下、沿该工作台内边缘设置的一 组可调垫片；其中，所述可调垫片可升高或降低至一个所需高 度，以补偿尺寸和厚度不同的各种基板。

当处理中的基板小于曝光设备中最大的图像面积，本发明的 可调垫片升高到与基板上表面大致平行的水平，用于在真空曝光 时支撑安装原图的玻璃板的四周。由此可见，本发明的工作台避 免了玻璃板的破损或周边变形，从而产生较好的曝光图像。同 时，也杜绝了人工安装垫片时由微粒侵入而引起的产品瑕疵和安 装错误。此外，还极大地提高了PCB的生产效率。

作为另一个实施例，本发明的工作台包括：一个上表面；一 组沿所述上表面的内边缘设置的高度可调衬垫；一个位于所述上 表面之下、用于使所述高度可调衬垫上升或下降的电动控制机 构。

该实施例与前述实施例相比，工作台设了一个电动控制机 构。该机构用于控制可调衬垫。通过比较可以得出，该实施例也 可获得与前述实施例相同的技术效果。

本发明的主要目的之二是提供一种适用于本发明工作台的自 动安装垫片的方法。该方法包括：在工作台的上表面之下提供一 组电动垫片；基于基板的尺寸和厚度升高或降低所述电动垫片。

类似地，该方法也可克服以往人工安装垫片的缺陷，极大地 提高了PCB的生产效率。

附图说明

以下结合附图对本发明进行进一步说明。

图1是包括本发明工作台的基板自动传送系统的透视图；

图2是图1中所述系统的另一个方向的透视图；

图3给出了本发明一个实施例的工作台；

图4给出了图3所示工作台的内部机械结构；

图5为图3所示工作台的俯视图；

图6为图3所示工作台的俯视图，其中，垫片已经降下。

具体实施方式

以下描述用于使本领域技术人员再现和利用本发明，并利用 本发明人所述的最佳实施例来实施本发明。本发明有各式各样 的、对于本领域技术人员来说很明显的变形。任何这些变形、等 同替换及代替均在本发明的发明思想和范围之内。

由于工作台为组成基板自动传送系统的重要部件，故先对基 板自动传送系统进行说明。图1给出了包括本发明工作台的基板 自动传送系统。基板自动传送系统2主要作为一个用于处理PCB 基板的特定的系统来进行描述。本发明的教导可用于任何需经紫 外线曝光系统处理的带光聚合物质的基板。该系统2可处理的基 板的尺寸范围为356毫米X356毫米至610毫米X720毫米。当 然，本系统可根据需要调整以处理更大或更小的基板。一般来 说，可处理的普通的基板的厚度值从最小0.2毫米到最大5毫 米。整个系统2通过计算机控制器4来控制(或通过计算器来控 制)。