[发明专利]工作台及其自动安装垫片的方法有效
| 申请号： | 200910149168.8 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101794077A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 莱昂内尔·弗尔伍德;格瑞格·巴克斯特;约韩·H·哈特;拉贾·D·辛格 | 申请（专利权）人： | 王氏港建经销有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/00 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 段淑华 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作台 及其 自动 安装 垫片 方法 | ||
【权利要求书】：
1.工作台，用于基板自动传送系统，所述工作台包括：
一个上表面；
一个沿所述上表面的周边设置的密封件；
位于所述上表面之下、沿该工作台内边缘设置的一组可调垫片，所述可调垫片位于所述密封件的内侧；
其中，所述可调垫片可升高或降低至一个所需高度，以补偿尺寸和厚度不同的各种基板。
2.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所述可调垫片包括圆柱形衬垫，所述衬垫通过所述上表面的垫片孔升高或降低。
3.根据权利要求2所述的工作台，其特征在于，进一步包括所述上表面设置的空气孔。
4.根据权利要求3所述的工作台，其特征在于，进一步包括一个空气薄膜系统，所述空气薄膜系统提供一个流经所述空气孔的空气流，以形成一个用于支撑基板的空气薄膜。
5.根据权利要求4所述的工作台，其特征在于，进一步包括用于对齐基板的至少一个止位件和至少两个限位件。
6.工作台，用于基板自动传送系统，所述工作台包括：
一个上表面；
一个沿所述上表面的周边设置的密封件；
一组沿所述上表面的内边缘设置的高度可调衬垫，所述可调衬垫比所述密封件更靠近工作台的中心；
一个位于所述上表面之下、用于使所述高度可调衬垫上升或下降的电动控制机构。
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